[发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

储料机构，包括储料腔体(11)和储料加热单元，所述储料腔体(11)的上端设置有储料进料口(111)，所述储料腔体(11)的下端设置有储料出料口(112)，所述储料腔体(11)用于盛放待添加的固体材料，所述储料加热单元用于将所述固体材料加热至熔融态；

送料机构，包括连通器(31)和送料加热单元(32)，所述连通器(31)的一端与所述储料出料口(112)相连通以使所述熔融态材料能够流入所述连通器(31)，所述送料加热单元(32)用于将所述连通器(31)内的所述熔融态材料加热保持温度均匀；

蒸发机构，包括蒸发腔体，所述蒸发腔体的下端设置有与所述连通器(31)的另一端相连通的蒸发进料口(211)，所述蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口(212)，所述送料机构输送来的材料能够进入所述蒸发腔体并转化为气态，所述气态材料从所述蒸发出料口(212)排出。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述储料腔体(11)的出料口形状为上宽下窄的筒状，所述储料出料口(112)设置在所述储料腔体(11)的缩口端。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述储料加热单元包括加热件(12)，所述加热件(12)设置在所述储料出料口(112)处，用于将所述储料出料口(112)处的固体材料加热至熔融态，以控制出料口的进料能力。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热件(12)为加热网(121)，所述加热网(121)设置在所述储料出料口(112)处且其外壁与所述储料出料口(112)的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热网(121)上的网孔流入所述连通器(31)。

5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热件(12)为加热板(122)，所述加热板(122)上设置有漏料孔，所述加热板(122)设置在所述储料出料口(112)处且其外壁与所述储料出料口(112)的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热板(122)上的漏料孔流入所述连通器(31)。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述漏料孔设置有挡片和驱动机构，所述驱动机构能够控制所述挡片遮挡所述漏料孔，以控制所述漏料孔的大小。

7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述储料机构还包括震动件(14)，所述震动件(14)安装在所述储料腔体(11)上，用于振动所述储料腔体(11)以使所述储料腔体(11)内的固体材料流至所述储料出料口(112)处。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述震动件(14)设置在所述储料出料口(112)处。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述送料加热单元(32)包括加热罩，所述加热罩包裹在所述连通器(31)的外壁上。

10.一种蒸镀方法，其特征在于，基于如权利要求1-9所述的蒸镀装置，所述蒸镀方法包括如下步骤：

将固体材料置入储料腔体(11)内，然后启动储料加热单元，将所述储料腔体(11)内的固体材料进行加热至熔融态；

所述熔融态材料流入连通器(31)内，然后启动送料加热单元(32)对所述连通器(31)内的材料进行加热；

所述连通器(31)内的熔融态材料进入蒸发腔体并转化为气态，所述气态材料从所述蒸发腔体的蒸发出料口(212)排出。