[发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法

说明书

本发明涉及薄膜成型技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。该蒸镀装置包括储料机构、送料机构和蒸发机构，储料机构包括储料腔体和储料加热单元，储料腔体的上端和下端分别设置有储料进料口和储料出料口，储料加热单元用于将固体材料加热至熔融态。送料机构包括连通器和送料加热单元，连通器的一端与储料出料口相连通，送料加热单元加热连通器内的熔融态材料。蒸发机构包括蒸发腔体，蒸发腔体的下端设置有与连通器的另一端相连通的蒸发进料口，蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口，熔融态材料转化为气态，并从蒸发出料口排出，在此过程中，连通器一直处于动态平衡状态，确保材料不会长时间高温裂解，且能保证不开腔持续批量生产。

技术领域

本发明涉及薄膜成型技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

目前，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)又称为有机电激光显示，通常采用蒸镀设备制备OLED屏。蒸镀设备通过将有机材料和金属材料加热，并使之气化蒸发，以实现在玻璃基板上形成镀膜。OLED材料加热后有两类情况，第一类是直接升华，第二类是先熔化再蒸发。

针对第二类先熔化再蒸发的材料，通常是对整个坩埚内的材料进行加热。然而长期的高温环境对材料的稳定性要求很高，在高温环境下对材料进行长时间的高温加热，容易造成材料的裂解，变质等，进而降低产品的良率和可靠性。此外，在蒸镀过程中，传统的补料方法为固定时间间隔定时补料，但由于蒸汽的产生和消耗受加热温度的影响较大，现有的补料方法不能够满足实际工况需求，容易造成缺料停机，严重影响工作效率。

因此，亟待需要一种针对第二类有机蒸发材料进行处理的蒸镀装置以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀装置，以解决现有技术中在蒸镀过程中材料容易裂解变质以及不能实时补料，以及材料在坩埚或线源中的因余量变化带来吸热量变化导致的加热部件功率和蒸镀速率控制复杂等问题。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种蒸镀装置，包括：

储料机构，包括储料腔体和储料加热单元，所述储料腔体的上端设置有储料进料口，所述储料腔体的下端设置有储料出料口，所述储料腔体用于盛放待添加的固体材料，所述储料加热单元用于将所述固体材料加热至熔融态；

送料机构，包括连通器和送料加热单元，所述连通器的一端与所述储料出料口相连通以使所述熔融态材料能够流入所述连通器，所述送料加热单元用于将所述连通器内的所述熔融态材料加热保持温度均匀；

蒸发机构，包括蒸发腔体，所述蒸发腔体的下端设置有与所述连通器的另一端相连通的蒸发进料口，所述蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口，所述送料机构输送来的材料能够进入所述蒸发腔体并转化为气态，所述气态材料从所述蒸发出料口排出。

作为蒸镀装置的优选方案，所述储料腔体的出料口形状为上宽下窄的筒状，所述储料出料口设置在所述储料腔体的缩口端。

作为蒸镀装置的优选方案，所述储料加热单元包括加热件，所述加热件设置在所述储料出料口处，用于将所述储料出料口处的固体材料加热至熔融态，以控制出料口的进料能力。

作为蒸镀装置的优选方案，所述加热件为加热网，所述加热网设置在所述储料出料口处且其外壁与所述储料出料口的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热网上的网孔流入所述连通器。

作为蒸镀装置的优选方案，所述加热件为加热板，所述加热板上设置有漏料孔，所述加热板设置在所述储料出料口处且其外壁与所述储料出料口的内壁固定连接，所述熔融态材料能够通过所述加热板上的漏料孔流入所述连通器。

作为蒸镀装置的优选方案，所述漏料孔设置有挡片和驱动机构，所述驱动机构能够控制所述挡片遮挡所述漏料孔，以控制所述漏料孔的大小。