[发明专利]脆性材料基板的截断装置以及切断系统在审
申请号: | 202010220948.3 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN111747639A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 江岛谷彰 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/03 | 分类号: | C03B33/03;C03B33/033 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脆性 材料 截断 装置 以及 切断 系统 | ||
本发明的目的在于提供能够高效地截断在产品区域的周围具有边料区域的脆性材料基板的截断装置以及切断系统。截断装置是脆性材料基板的截断装置,对形成有刻划线的脆性材料基板施加应力而沿着刻划线从脆性材料基板的产品区域分割边料区域,其具备:基板移送机构,其保持脆性材料基板并进行移送;以及边料把持机构,其把持脆性材料基板的边料区域,基板移送机构具有保持脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的脆性材料基板绕沿着该脆性材料基板的主面的法线的轴旋转的回旋部,边料把持机构具有把持边料的把持部,基板保持部与把持部设置为能够相对地接近或远离。
技术领域
本发明涉及用于将玻璃基板等脆性材料基板进行切断的脆性材料基板的截断装置以及切断系统。
背景技术
在将玻璃基板等脆性材料基板进行切断的加工中,以往,将刀轮按压于基板表面而形成刻划线,然后,沿着刻划线施加外力而使龟裂从刻划线发展,由此切断成产品的形状(参照专利文献1)。
近年来,液晶显示器面板等显示器面板产品的形状正在多样化,角为曲线的四边形、仅由曲线构成的形状等的显示器面板的生产不断增加。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:WO2002/057192
发明内容
发明要解决的课题
在以往的通常截断装置中,需要与截断的线对应地变更工作台上的基板的位置。
因此,本发明的目的在于,提供一种能够高效地截断在产品区域的周围具有边料区域的脆性材料基板的截断装置。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题而完成的本发明的脆性材料基板的截断装置是对形成有刻划线的脆性材料基板施加应力而沿着刻划线从脆性材料基板的产品区域分割边料区域的截断装置,其中,该截断装置具备:基板移送机构,其保持脆性材料基板并进行移送;以及边料把持机构,其把持脆性材料基板的边料区域,基板移送机构具有保持脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的脆性材料基板绕沿着该脆性材料基板的主面的法线的轴旋转的回旋部,边料把持机构具有把持边料区域的把持部,基板保持部与把持部设置为能够相对地接近或远离。
另外,为了解决上述课题而完成的本发明的脆性材料基板的切断系统是在脆性材料基板形成刻划线并对形成有刻划线的脆性材料基板施加应力而沿着刻划线从脆性材料基板的产品区域分割边料区域的切断系统,其中,该切断系统具备:刻划机构,其在脆性材料基板形成用于从产品区域分离边料区域的刻划线;基板移送机构,其保持脆性材料基板并进行移送;以及边料把持机构,其把持脆性材料基板的边料区域,基板移送机构具有保持脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的脆性材料基板绕沿着该脆性材料基板的主面的法线的轴旋转的回旋部,边料把持机构具有把持边料区域的把持部,基板保持部与把持部设置为能够相对地接近或远离。
发明效果
根据本发明的截断装置以及切断系统,由于将基板保持为能够绕该基板的主面的法线的轴旋转,因此能够在不更换基板的情况下高效地分离产品区域P的周围的边料区域。另外,能够根据边料区域的形状,变更基板W的方向以及要把持的位置,因此能够根据边料的形状可靠地进行截断。
附图说明
图1是表示本发明的截断装置的一实施方式的主视示意图。
图2是本发明的截断装置的基板保持头周围的俯视示意图。
图3是形成有刻划线的基板的示意图。
图4是用于说明本发明的截断装置的动作的示意图。
图5是将本发明的截断装置和刻划装置组合而成的基板切断系统的主视示意图。
附图标记说明:
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