[发明专利]图像感测装置

权利要求书

1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：

基板，所述基板包括光电转换元件，所述光电转换元件响应于入射到所述光电转换元件的光而产生电信号；以及

栅格结构，所述栅格结构设置在所述基板上方，

其中，所述栅格结构包括：

支撑壁；

空气层，所述空气层设置在所述支撑壁的两侧；

支撑盖，所述支撑盖设置在所述支撑壁和所述空气层上方；以及

覆盖层，所述覆盖层形成在所述支撑壁、所述支撑盖和所述空气层上方。

2.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括：

金属栅格，所述金属栅格设置在所述支撑壁和所述空气层下方并且在所述基板上方。

3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述金属栅格包括：

阻挡金属层；

金属层，所述金属层形成在所述阻挡金属层上方；以及

绝缘膜，所述绝缘膜形成在所述阻挡金属层和所述金属层上方。

4.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中：

所述支撑壁设置在所述金属栅格的顶表面和所述支撑盖的底表面之间。

5.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑壁设置在所述基板的顶表面与所述支撑盖的底表面之间。

6.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑壁包括含碳材料。

7.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑壁包括旋涂碳SOC材料。

8.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述支撑盖包括硅氮氧化物膜、硅氧化物膜和硅氮化物膜中的至少一个。

9.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层包括：

第一覆盖层，所述第一覆盖层形成在所述空气层的侧表面以及所述支撑盖的顶表面和侧表面处；以及

第二覆盖层，所述第二覆盖层形成在所述第一覆盖层上方。

10.根据权利要求9所述的图像感测装置，其中，所述第一覆盖层包括超低温氧化物ULTO膜。

11.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括：

滤色器层，所述滤色器层设置在沿着所述栅格结构形成的空间中。

12.根据权利要求11所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层被配置为延伸到插置于所述滤色器层和所述基板之间的部分。

13.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：

像素阵列，所述像素阵列包括成像像素，所述成像像素以行和列布置并且通过位于任意两个相邻像素之间的边界区域分隔开，每个像素包括光电转换元件，所述光电转换元件响应于入射到所述光电转换元件的光而产生电信号；

栅格结构，所述栅格结构设置在所述边界区域上方并且包括支撑部和围绕所述支撑部的含空气层；以及

滤色器层，所述滤色器层设置在由所述栅格结构限定的空间之间，所述滤色器层被配置为向所述像素阵列透射特定波长的可见光。

14.根据权利要求13所述的图像感测装置，其中，所述支撑部包括含碳材料或旋涂碳SOC材料。

15.根据权利要求13所述的图像感测装置，其中，所述栅格结构还包括设置在所述支撑部和所述含空气层上方的材料层。

16.根据权利要求15所述的图像感测装置，其中，所述材料层包括硅氮氧化物膜、硅氧化物膜和硅氮化物膜中的至少一种。