[发明专利]图像感测装置

说明书

公开了一种图像感测装置。该图像感测装置包括：基板，其包括光电转换元件，光电转换元件响应于入射到光电转换元件的光而产生电信号；以及栅格结构，其设置在基板上方。栅格结构包括：支撑壁；空气层，其设置于支撑壁的两侧；支撑盖，其设置在支撑壁和空气层上方；以及覆盖层，其形成在支撑壁、支撑盖和空气层上方。

技术领域

本专利文档中公开的技术和实现总体上涉及图像感测装置。

背景技术

图像传感器是用于将光学图像转换成电信号的装置。随着计算机行业和通信行业的不断发展，在例如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(PCS)、游戏机、监控摄像头、医疗微型相机、机器人等的各种领域中，对高质量和高性能的传感器的需求快速增长。

发明内容

所公开的技术的各种实施方式涉及一种包括栅格结构的图像感测装置，该栅格结构包括空气并且能够维持其形状并使由于空气的热膨胀而塌陷的风险最小化。

根据所公开的技术的实施方式，图像感测装置可以包括：基板，其包括光电转换元件，光电转换元件响应于入射到光电转换元件的光而产生电信号；以及栅格结构，其设置于基板上方。栅格结构可以包括：支撑壁；空气层，其设置于支撑壁的两侧；支撑盖，其设置在支撑壁和空气层上方；以及覆盖层，其形成在支撑壁、支撑盖和空气层上方。

应当理解，所公开的技术的前述概括描述和以下详细描述都是示例性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的本公开的进一步解释。

附图说明

当结合附图考虑以下详细描述时，所公开的技术的上述和其它的特征以及有益方面将变得显而易见。

图1是例示基于所公开的技术的一些实现的图像感测装置的框图的示例。

图2是例示基于所公开的技术的一些实现的沿着图1所示的线A-A'截取的像素阵列的示例的截面图。

图3A至图3G是例示基于所公开的技术的一些实现的缓冲层和栅格结构的示例的截面图。

图4是例示基于所公开的技术的一些实现的用于通过O₂等离子体工艺去除牺牲膜图案的方法的概念性截面图。

图5是例示基于所公开的技术的一些实现的沿图1所示的线A-A'截取的像素阵列的另一示例的截面图。

具体实施方式

所公开的技术提供了能够增加光效率的图像感测装置的各种实现。所公开的技术的一些实现提出了具有包括空气的栅格结构的图像感测装置的设计，该栅格结构能够保持其形状并使由于空气的热膨胀而使其塌陷的风险最小化。

现在将详细参照一些实施方式进行说明，其示例在附图中示出。尽可能地，在所有附图中将使用相同的附图标记指代相同或相似的部件。在以下描述中，将省略本文并入的相关已知配置或功能的详细描述，以避免使主题变得模糊。

图1是例示基于所公开的技术的一些实现的图像感测装置的框图的示例。

参照图1，图像感测装置可以包括像素阵列100、相关双采样器(CDS)200、模数转换器(ADC)300、缓冲器400、行驱动器500、定时发生器600、控制寄存器700和斜坡信号发生器800。

像素阵列100可以包括在列方向和行方向上连续布置的多个单位像素(PX)。每个单位像素(PX)可以将光学图像信息转换成电图像信号(像素信号)，并且可以通过列线将像素信号输出到相关双采样器(CDS)200。单位像素(PX)可以联接到行线和列线。单位像素(PX)可以包括红像素、绿像素和蓝像素。