[发明专利]一种刻蚀液及其制备方法有效
| 申请号： | 202010223967.1 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111334299B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李广圣;蒋雷;黄学勇;叶宁;刘翔;赵亚雄 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 文小莉;臧建明 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种刻蚀液，其特征在于，按照质量百分含量包括以下组分：
6～15％双氧水；
0.5～5％无机酸；
0.2～0.9％双氧水稳定剂；
2～2.2％pH调节剂；
2.8～3.5％络合剂；
0.01～2％金属缓蚀剂；
以及余量水；
其中，所述无机酸为氢氟酸和硝酸；
所述双氧水稳定剂为苯基脲或苯基脲与羟基乙酸的混合物；
所述pH调节剂为三乙醇胺和/或2-羟基丁二胺；
所述络合剂为苹果酸和/或丁二酸；
所述金属缓蚀剂为5-氨基四氮唑；
基于所述刻蚀 液的总质量，所述氢氟酸的质量百分含量为0.01～1％；含有羧基的有机化合物的质量百分含量为2.8-4.3％。
2.一种权利要求1所述的刻蚀液的制备方法，其特征在于，将双氧水、无机酸、双氧水稳定剂、pH调节剂、络合剂、金属缓蚀剂，水混合，得到所述刻蚀液。
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