[发明专利]显示用基板及其制备方法、显示装置

权利要求书

1.一种显示用基板，其特征在于，包括：

衬底；

设置在所述衬底上的绝缘层，所述绝缘层具有第一过孔；

设置在所述绝缘层远离所述衬底一侧的平坦层，所述平坦层包括正性感光剂，所述平坦层在其远离所述绝缘层的表面上设置有凹槽，所述平坦层中位于在所述凹槽底下的部分具有第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔相贯通；

设置在所述衬底与所述绝缘层之间的薄膜晶体管；

设置在所述凹槽的底面上的第一极板，所述第一极板贯穿所述第二过孔和所述第一过孔与所述薄膜晶体管的第一极电连接；

设置在所述绝缘层靠近所述衬底一侧的第二极板，所述第二极板与所述薄膜晶体管的栅极电连接；

其中，所述第一极板和所述第二极板构成电容器的两个极板。

2.根据权利要求1所述的显示用基板，其特征在于，

所述凹槽的深度为所述平坦层的厚度的80％～95％。

3.根据权利要求1所述的显示用基板，其特征在于，

所述第二过孔靠近所述衬底的边缘在所述衬底上的正投影在所述第一过孔远离所述衬底的边缘在所述衬底上的正投影以内。

4.根据权利要求3所述的显示用基板，其特征在于，

所述第二过孔靠近所述衬底的边缘在所述衬底上的正投影与所述第一过孔远离所述衬底的边缘在所述衬底上的正投影重合。

5.根据权利要求1所述的显示用基板，其特征在于，还包括：

电极；所述电极与所述第一极板相连接，且同层同材料；

以及设置在所述绝缘层和所述平坦层之间的彩色滤光层；所述彩色滤光层包括多个滤光图案；

所述电极在所述衬底上的正投影与一个所述滤光图案在所述衬底上的正投影具有重叠区域。

6.根据权利要求1所述的显示用基板，其特征在于，还包括:

设置在所述衬底与所述薄膜晶体管之间的金属图案；

所述薄膜晶体管的有源层在所述衬底上的正投影在所述金属图案在所述衬底上的正投影内；

所述金属图案与所述薄膜晶体管的第一极电连接，且所述金属图案与所述第二极板具有重叠区域。

7.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的显示用基板。

8.一种显示用基板的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底上依次形成第一薄膜和第二薄膜，所述第二薄膜包括正性感光剂；

对所述第二薄膜进行掩膜曝光和显影，以在所述第二薄膜远离所述第一薄膜的表面上形成凹槽，且在所述第二薄膜的凹槽底下的部分形成第二过孔，得到平坦层；

对所述第一薄膜中被所述第二过孔露出的部分进行刻蚀，以形成具有第一过孔的绝缘层；其中，

所述显示用基板包括：

设置在所述衬底与所述绝缘层之间的薄膜晶体管；

设置在所述凹槽的底面上的第一极板，所述第一极板贯穿所述第二过孔和所述第一过孔与所述薄膜晶体管的第一极电连接；

设置在所述绝缘层靠近所述衬底一侧的第二极板，所述第二极板与所述薄膜晶体管的栅极电连接；

其中，所述第一极板和所述第二极板构成电容器的两个极板。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，还包括：

在形成所述绝缘层之后，对所述平坦层进行灰化处理以得到处理后的平坦层。