[发明专利]一种靶材的加工工艺

权利要求书

1.一种靶材的加工工艺，其特征在于，所述靶材为G8.5钼靶材；所述工艺包括：依次进行精铣焊接面-半精铣溅射面-精铣溅射面-精铣外形-精铣R角；

所述精铣溅射面中的主轴转速为200-5000m/s；

所述精铣溅射面中的进给量为100-1000mm/min；

所述精铣溅射面中的吃刀量为0.01-1mm。

2.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣焊接面中的刀具包括250mm盘刀。

3.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣焊接面中的主轴转速为200-5000m/s。

4.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣焊接面中的进给量为100-1000mm/min。

5.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣焊接面中的吃刀量为0.1-1mm。

6.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述半精铣溅射面的刀具包括250mm盘刀。

7.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述半精铣焊接面中的主轴转速为200-5000m/s。

8.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述半精铣焊接面中的进给量为100-1000mm/min。

9.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述半精铣焊接面中的吃刀量为0.1-100mm。

10.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣溅射面中的刀具包括250mm盘刀。

11.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣外形中的刀具包括D20钨钢铣刀。

12.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣外形中的主轴转速为200-5000m/s。

13.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣外形中的进给量为100-1000mm/min。

14.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣外形中的吃刀量为0.01-1mm。

15.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣外形中最后一刀的吃刀量为0.01-1mm。

16.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣R角中的刀具包括R3.5外圆刀。

17.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣R角的主轴转速为1000-4000m/s。

18.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣R角的进给量为100-1000mm/min。

19.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣R角的吃刀量为0.1-1.5mm。

20.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述精铣R角中最后一刀的吃刀量为0.01-0.3mm。

21.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，所述工艺的铣的过程中采用切削液进行冷却。

22.如权利要求1所述的工艺，其特征在于，其中，所述精铣焊接面中的刀具包括250mm盘刀；所述精铣焊接面中的主轴转速为200-5000m/s；所述精铣焊接面中的进给量为100-1000mm/min；所述精铣焊接面中的吃刀量为0.1-1mm；所述半精铣溅射面的刀具包括250mm盘刀；所述半精铣焊接面中的主轴转速为200-5000m/s；所述半精铣焊接面中的进给量为100-1000mm/min；所述半精铣焊接面中的吃刀量为0.1-100mm；所述精铣溅射面中的刀具包括250mm盘刀；所述精铣外形中的刀具包括D20钨钢铣刀；所述精铣外形中的主轴转速为200-5000m/s；所述精铣外形中的进给量为100-1000mm/min；所述精铣外形中的吃刀量为0.01-1mm；所述精铣外形中最后一刀的吃刀量为0.01-1mm；所述精铣R角中的刀具包括R3.5外圆刀；所述精铣R角的主轴转速为1000-4000m/s；所述精铣R角的进给量为100-1000mm/min；所述精铣R角的吃刀量为0.1-1.5mm；所述精铣R角中最后一刀的吃刀量为0.01-0.3mm；所述工艺的铣的过程中采用切削液进行冷却。