[发明专利]半导体加工设备的线圈驱动装置

权利要求书

1.一种半导体加工设备的线圈驱动装置，其特征在于，包括第一驱动机构、第二驱动机构和切换机构，其中，

所述第一驱动机构与所述切换机构连接，用于通过所述切换机构向线圈提供能够使之以第一速度运动的动力；

所述第二驱动机构与所述切换机构连接，用于通过所述切换机构向所述线圈提供能够使之以第二速度运动的动力，所述第二速度大于所述第一速度；

所述切换机构用于在第一状态和第二状态之间切换，所述第一状态为将所述第一驱动机构与所述线圈接合，且将所述第二驱动机构与所述线圈分离；所述第二状态为将所述第二驱动机构与所述线圈接合，且将所述第一驱动机构与所述线圈分离。

2.根据权利要求1所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述切换机构包括第一离合部件、第二离合部件和同步传动组件，其中，

所述第一离合部件连接在所述同步传动部件与所述第一驱动机构之间，且能够接合或分离；所述第二离合部件连接在所述同步传动部件与所述第二驱动机构之间，且能够接合或分离；

所述同步传动组件与所述线圈连接，且能够在所述第一离合部或者第二离合部接合时，将所述第一驱动机构或者所述第二驱动机构提供的动力传递至所述线圈。

3.根据权利要求2所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述第一离合部件和第二离合部件均为离合器。

4.根据权利要求2所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述第一驱动机构和第二驱动机构提供的动力均为旋转动力，且所述线圈驱动装置还包括升降模组，所述升降模组分别与所述线圈和所述同步传动组件连接，用以将所述同步传动组件传递而来的旋转动力转换为竖直方向上的直线动力。

5.根据权利要求4所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述同步传动组件包括第一带轮、第二带轮和同步带，其中，所述第一带轮与所述第一离合部件连接；所述第二带轮与所述第二离合部件连接；所述同步带缠绕在所述第一带轮和第二带轮上；并且，所述第一带轮或者第二带轮与所述升降模组连接。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括第一旋转电机和至少一个第一减速器，所述第一旋转电机通过所述至少一个第一减速器与所述切换机构连接；所述至少一个第一减速器的总减速比满足使所述线圈以第一速度运动；

所述第二驱动机构包括第二旋转电机和至少一个第二减速器，所述第二旋转电机通过所述至少一个第二减速器与所述切换机构连接；所述至少一个第二减速器的总减速比满足使所述线圈以第二速度运动。

7.根据权利要求6所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述线圈驱动装置还包括至少一个公共减速器，所述公共减速器连接在所述切换机构与所述线圈之间，能够在所述切换结构为所述第一状态或者第二状态时，用作所述第一减速器或者第二减速器。

8.根据权利要求1所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述第一速度的取值范围为0.05-1.8mm/h，所述第二速度的取值范围为1800-4800mm/h。

9.根据权利要求1所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述线圈驱动装置还包括断电保护装置，所述断电保护装置连接在所述线圈与所述切换机构之间，用以在断电时锁定所述线圈的位置。

10.根据权利要求1所述的线圈驱动装置，其特征在于，所述线圈驱动装置还包括支撑件和位置调节组件，其中，所述第一驱动机构、第二驱动机构和切换机构均设置在所述支撑件上；所述位置调节组件用于调节所述支撑件在竖直方向上的高度。