[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，包括：

电源部，供给电流；

检测部，检测电压；

多个供给开关对，包括与所述电源部的正极连接的正供给开关以及与所述电源部的负极连接的负供给开关；

多个检测开关对，包括与所述检测部的正极连接的正检测开关以及与所述检测部的负极连接的负检测开关；

供给探针，对于所述多个供给开关对的每一个分别设置，经由所述正供给开关而与所述电源部的正极连接，并且经由所述负供给开关而与所述电源部的负极连接，且不与所述正检测开关及所述负检测开关连接；

检测探针，对于所述多个检测开关对的每一个分别设置，经由所述正检测开关而与所述检测部的正极连接，并且经由所述负检测开关而与所述检测部的负极连接，且不与所述正供给开关及所述负供给开关连接；以及

检查处理部，通过对所述正供给开关、所述负供给开关、所述正检测开关及所述负检测开关的导通、关断进行控制来对检查对象物进行检查；

所述检查处理部不会将所述各供给开关对的两个开关这两者同时导通，且

不会将所述各检测开关对的两个开关这两者同时导通；

a1从所述多个供给探针中，选择其中一个来作为第一供给探针，且选择另一个来作为第二供给探针，从所述多个检测探针中，选择其中一个来作为第一检测探针，且选择另一个来作为第二检测探针；

b1将与所述第一供给探针对应的所述正供给开关及所述负供给开关的各开关中的其中一者导通，将与所述第二供给探针对应的所述正供给开关及所述负供给开关的各开关中的另一者导通，将与所述第一检测探针对应的所述正检测开关及所述负检测开关的各开关中的其中一者导通，将与所述第二检测探针对应的所述正检测开关及所述负检测开关的各开关中的另一者导通，并且基于由所述检测部所检测的检测电压来对所述检查对象物进行检查。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述检查处理部在所述b1中，进而对于所述第一供给探针、所述第二供给探针、所述第一检测探针及所述第二检测探针，分别将与所述b1相反侧的开关导通，并且基于由所述检测部所检测的检测电压来进行检查。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的检查装置，其中，

所述检查处理部c1在所述b1之后，重新选择所述第一供给探针、所述第二供给探针、所述第一检测探针及所述第二检测探针的各探针，使用所述重新选择的所述各探针来重新实行所述b1。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，

所述检查对象物是扩展为面状的导电性的构件；

所述各供给探针与所述各检测探针实质上配置于直线上而与所述检查对象物的面接触；

在所述a1中，所述第一供给探针、所述第一检测探针、所述第二供给探针及所述第二检测探针的各探针以此顺序配置；并且

所述检查处理部在所述c1中，将所述a1中的所述第一检测探针及所述第二检测探针直接作为新的第一检测探针及第二检测探针，将所述a1中的所述第二供给探针作为新的第一供给探针，将与所述a1中的所述第二检测探针的与所述新的第一供给探针相反侧邻接的供给探针作为新的第二供给探针，来重新实行所述b1。

5.根据权利要求3所述的检查装置，其中，

所述检查对象物是扩展为面状的导电性的构件；

所述各供给探针及所述各检测探针实质上配置于直线上而与所述检查对象物的面接触；

在所述a1中，所述第一检测探针、所述第一供给探针、所述第二检测探针及所述第二供给探针的各探针以此顺序配置；并且

所述检查处理部在所述c1中，将所述a1中的所述第一供给探针及所述第二供给探针直接作为新的第一供给探针及第二供给探针，将所述a1中的所述第二检测探针作为新的第一检测探针，且将与所述a1中的所述第二供给探针的与所述新的第一检测探针相反侧邻接的检测探针作为新的第二检测探针，来重新实行所述b1。