[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

本发明提供一种容易减少开关的数量的检查装置及检查方法。检查装置包括：多个供给开关对(44)，包括与电源部(42)连接的正供给开关(Fp)及负供给开关(Sp)；多个检测开关对(45)，包括与检测部(43)连接的正检测开关(Sp)及负检测开关(Sm)；供给探针(P)，经由正供给开关(Fp)及负供给开关(Fm)而与电源部(12)连接；检测探针(P)，经由正检测开关(Sp)及负检测开关(Sm)而与检测部(43)连接；以及检查处理部(5)；并且检查处理部(5)将正供给开关(Fp1)、负供给开关(Fm3)、正检测开关(Sp2)及负检测开关(Sm4)导通，并且基于由检测部(43)所检测的检测电压(V)来进行接片端子(104)的检查。

技术领域

本发明涉及一种使用四端子法来对检查对象物进行检查的检查装置及检查方法。

背景技术

以往，作为高精度的电阻测定法，已知所谓的四端子法，与电流供给用的接触件分开来设置电压检测用的接触件，使用共计四个接触件来进行电阻测定(例如参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2011-89858号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但，专利文献1记载的基板检查装置中，对于四端子法用的接触件CP1～接触件CP4中的一根接触件，分别连接有四个开关元件SW1～SW4(专利文献1的图1、图3)。

专利文献1的图1、图3中记载有，开关元件SW1将接触件CP连接于电源单元2的正极，开关元件SW2将接触件CP连接于电源单元2的负极(电路接地)，开关元件SW3将接触件CP连接于检测单元的其中一极，开关元件SW4将接触件CP连接于检测单元的另一极。

基板检查装置的检查对象即基板的焊盘等检查点的配置多种多样，所述检查点间的布线的分布也多种多样。为了进行如上所述的各种基板的检查，需要能够将各接触件CP自由地连接于电源正极、电源负极、检查单元的正极及检查单元的负极。

因此，以前，在四端子法的检查装置中，如专利文献1所示，对于各接触件连接有四个开关元件。另一方面，就成本削减的观点而言，存在欲减少开关元件的数量的需求。

本发明的目的为提供一种容易减少开关的数量的检查装置及检查方法。

[解决问题的技术手段]