[发明专利]真空泵和旋转驱动结构在审
申请号: | 202010231173.X | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN113452227A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 顾崇诚 | 申请(专利权)人: | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
主分类号: | H02K16/02 | 分类号: | H02K16/02;H02K7/14;F04C23/02;F04C25/02;F04C18/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 315480 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 旋转 驱动 结构 | ||
1.一种旋转驱动结构,应用于一真空泵,该真空泵包括二个转子,其特征在于,该旋转驱动结构包括:
一槽体,包括多个内侧壁面,该多个内侧壁面呈现为平坦的表面;
两磁性旋转柱,其系位于该槽体内并分别与该两转子枢接;
多个磁性柱,各该磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边,其中各该磁性柱分散设置并与该槽体的该多个内侧壁面以该第一连接端连接,且该第二连接端环绕该两磁性旋转柱;以及
多个电磁线圈,各该电磁线圈系分散设于各该第一侧边及各该第二侧边并紧靠该槽体。
2.如权利要求1所述的旋转驱动结构,其特征在于,其中该两磁性旋转柱皆包括一主体和多个磁性件,各该磁性件分散设置于该主体。
3.如权利要求2所述的旋转驱动结构,其特征在于,其中各个磁性旋转柱更包括一转轴,该转轴设于该主体内,且各该磁性件分散并以该转轴为圆心以相隔90度设置于该转轴的四周。
4.如权利要求3所述的旋转驱动结构,其特征在于,其中任两个相邻的磁性件具有相反的磁极。
5.如权利要求4所述的旋转驱动结构,其特征在于,其中至少一内侧壁面包括一延伸柱,其中该多个磁性柱的其中至少一磁性柱连接该延伸柱。
6.如权利要求5所述的旋转驱动结构,其特征在于,其中各该电磁线圈系分散设于各该第一侧边及各该第二侧边,并紧靠各该内侧壁面。
7.如权利要求1所述的旋转驱动结构,其特征在于,其中该多个磁性柱的数目为24个,且其中的十二个该磁性柱以该两磁性旋转柱的其中一为中心呈放射状排列,且此该十二个磁性柱的该第二连接端以该两磁性旋转柱的其中一形成一旋转区。
8.一种真空泵,包括二个转子,其特征在于,该真空泵包括如权利要求1至7任一项所述的一旋转驱动结构。
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