[发明专利]真空泵和旋转驱动结构在审
申请号: | 202010231173.X | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN113452227A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 顾崇诚 | 申请(专利权)人: | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
主分类号: | H02K16/02 | 分类号: | H02K16/02;H02K7/14;F04C23/02;F04C25/02;F04C18/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 315480 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 旋转 驱动 结构 | ||
本发明公开一种旋转驱动结构应用于一真空泵,真空泵包括二个转子。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。槽体包括多个内侧壁面,多个内侧壁面呈现为平坦的表面。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边,其中各磁性柱分散设置并与槽体的多个内侧壁面以第一连接端连接,且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈系分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
技术领域
本发明涉及一种真空泵和旋转驱动结构,特别是涉及一种借由均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的真空泵和旋转驱动结构。
背景技术
真空泵是将气体从容器内排出,使容器内形成负压的泵。一般的真空泵具有十二只磁性柱、一对磁性旋转轴和一对转子。十二只磁性柱环绕该对磁性旋转轴,并借由磁力而驱使磁性旋转轴同步反向旋转。当该对磁性旋转轴同步反向旋转时,会带动转子一起同步反向旋转,以将气体排出。
然而,十二只磁性柱所形成的磁力线较不均匀,且密度较稀疏,因此会造成磁性旋转轴有时无法平稳转动。因此,有必要提供一种新的真空泵,以解决上述问题。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种借由均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的旋转驱动结构。
为达成上述的目的,本发明的旋转驱动结构应用于一真空泵,真空泵包括二个转子。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。槽体包括多个内侧壁面,多个内侧壁面呈现为平坦的表面。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边,其中各磁性柱分散设置并与槽体的多个内侧壁面以第一连接端连接,且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈系分散设于各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
根据本发明的一实施例,其中两磁性旋转柱皆包括一主体和多个磁性件,各磁性件分散设置于主体。
根据本发明的一实施例,其中各个磁性旋转柱更包括一转轴,转轴设于主体内,且各磁性件分散并以转轴为圆心以相隔90度设置于转轴的四周。
根据本发明的一实施例,其中任两个相邻的磁性件具有相反的磁极。
根据本发明的一实施例,其中至少一内侧壁面包括一延伸柱,其中多个磁性柱的其中至少一磁性柱连接延伸柱。
根据本发明的一实施例,其中各电磁线圈系分散设于各第一侧边及各第二侧边,并紧靠各内侧壁面。
根据本发明的一实施例,其中多个磁性柱的数目为24个,且其中的十二个该磁性柱以两磁性旋转柱的其中一为中心呈放射状排列,且此十二个磁性柱的第二连接端以两磁性旋转柱的其中一形成一旋转区。
本发明的另一主要目的是在提供一种借由均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的真空泵。
为达成上述的目的,本发明的真空泵包括二个转子和如上所述的旋转驱动结。
借由本发明的真空泵和旋转驱动结构的结构设计,可以产生密度高且分布均匀的磁力线,故可以使二个磁性旋转柱更为平顺地转动,以带动二个转子平顺地转动以稳定抽取气体。
附图说明
图1是本发明的一实施例的真空泵的示意图。
图2是本发明的一实施例的旋转驱动结构的示意图。
图3是本发明的一实施例的旋转驱动结构的部分示意图。
附图标记
旋转驱动结构 1
槽体 10
内侧壁面 11、11a
延伸柱 111
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