[发明专利]一种硅片刻蚀设备上的矫正机构及矫正方法

权利要求书

1.一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，包括：

基座；

支撑座，所述支撑座安装在所述基座上的左右两侧；

传送辊，所述传送辊可旋转安装在所述支撑座上；

驱动装置，所述驱动装置安装在所述支撑座上，所述驱动装置动力连接所述传送辊；

传送带，所述传送带至少为两条，所述传送带沿前后方向间隔设置在传送辊上；

载片台，所述载片台设置在两条所述传送带上，所述载片台具有：

触发板，所述触发板向下延伸穿过间隔设置的所述传送带的空隙处；

滑座，所述滑座安装在所述基座上，所述滑座上具有：

滑槽，所述触发板滑动连接所述滑槽；

矫正机构，所述矫正机构设置在所述滑座两侧，所述矫正机构为下凹结构，该下凹结构的边缘为弧形，所述矫正机构包括：

连接齿，所述连接齿分布在所述矫正机构的所述弧形位置上；

固定座，所述固定座固定连接在所述矫正机构上；

转柱，所述转柱可旋转连接在所述固定座上，所述转柱上具有：

传动齿，所述传动齿分布在所述转柱上；

被动部，所述被动部固定连接所述转柱，所述被动部位于滑槽上；

第一齿轮，所述第一齿轮的直径小于所述转柱的直径，所述第一齿轮可旋转连接在所述固定座上；

转动部，所述转动部的一端连接所述第一齿轮；

支撑杆，所述支撑杆可旋转连接所述转动部的另一端，所述支撑杆穿过所述转动部；

第二齿轮，所述第二齿轮连接所述支撑杆的下端，所述第二齿轮啮合所述连接齿；

导向轮，所述导向轮连接所述支撑杆的上端，所述导向轮位于所述载片台两侧。

2.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述驱动装置通过履带连接所述传送辊，通过所述履带带动传送辊旋转。

3.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述触发板为长方体。

4.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述矫正机构还具有：

第三齿轮，所述第三齿轮可旋转安装在所述矫正机构中，所述第三齿轮与所述第一齿轮同轴，所述第三齿轮啮合所述第二齿轮。

5.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述载片台还具有：

支撑环，所述支撑环为中空结构，所述支撑环安装在所述载片台上，用于支撑硅片；

弹性环，所述弹性环为中空结构，所述弹性环设置在所述支撑环内，所述弹性环的外径与所述支撑环的内径相连；

金属片，所述金属片设置在所述弹性环内，所述金属片的外径连接所述弹性环的内径；

电磁片，所述电磁片设置在所述金属片下侧，所述电磁片与所述金属片之间具有一定距离。

6.根据权利要求5所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述弹性环与所述支撑环的连接方式为可拆卸式连接。

7.根据权利要求5所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述载片台还具有：

电源，所述电源电连接所述电磁片。

8.根据权利要求1所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述导向轮包括：

第一主体；

第二主体，所述第一主体与所述第二主体伸缩连接。

9.根据权利要求8所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述导向轮还包括：

弹性圈，所述弹性圈包裹所述第一主体的下端与所述第二主体的上端；

稳定板，所述弹性圈的内侧设有稳定板，所述稳定板间隔分布在所述弹性圈内表面；

第一推杆，所述第一推杆的一端以倾斜的方式与所述第一主体活动连接；

第二推杆，所述第二推杆的一端以倾斜的方式与所述第二主体活动连接，所述第一推杆的另一端与所述第二推杆的另一端相活动连接，该活动连接的所述第一推杆与所述第二推杆抵住所述稳定板。

10.根据权利要求8所述硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，所述第二主体内具有升降腔，所述升降腔左右壁面上设有凸起且间隔设置的阻挡块，所述导向轮还包括：

锁杆，所述锁杆与所述第一主体可旋转连接，所述锁杆贯穿所述第一主体，伸入至所述升降腔中，所述锁杆两侧具有凸起部分，该凸起部分嵌入所述第一主体上，限制所述锁杆的自由上下移动，所述锁杆两侧设有对接块，该对接块用于卡合在所述阻挡块之间。