[发明专利]一种硅片刻蚀设备上的矫正机构及矫正方法

说明书

本发明公开了一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，涉及硅片生产设备技术领域，包括：基座、支撑座、传送辊、驱动装置、传送带、载片台、滑座、矫正机构、导向轮。通过载片台的触发板推动矫正机构的被动部方式，使直径小于转柱的第一齿轮在转柱上的传动齿下带动旋转(根据机械传动系统中传动比原则，相当于小齿轮的第一齿轮旋转角度会大于相当于大齿轮的转柱旋转角度)，导向轮在与第一齿轮相连的转动部带动下沿硅片弧形端面进行由前向后的弧形方向移动，实现了硅片前后及左右位置的矫正。此外，第二齿轮在转动部的转动下，其沿连接齿进行旋转，从而带动导向轮旋转，使得导向轮与硅片的静摩擦变为动态摩擦，大大降低了导向轮对硅片的磨损伤害。

技术领域

本发明涉及硅片生产设备技术领域，特别涉及一种硅片刻蚀设备上的矫正机构。

背景技术

随着光伏产业越来越受到人们的关注，太阳能电池的生产设备也得到了迅猛的发展。

目前，太阳能硅片的上下料机、装片机、刻蚀设备以及硅片传送装置等设备中普遍都采用了硅片传送矫正机构，现有的硅片传送矫正机构有两种形式，一种为固定式矫正机构，即将楔形的导向条固定在硅片传输线的两侧，对硅片传送进行导向。另一种为动态矫正机构，即由气缸控制导向条推动硅片，矫正硅片在传送皮带上的位置。以上两种传输矫正机构均有其局限性和缺陷，固定式矫正机构为刚性导向，存在导向条易磨损，更换频率高且对硅片有污染。动态矫正机构通过气缸控制导向条往复运动，则存在无法矫正硅片前后位置。

发明内容

本发明目的之一是解决现有技术中的固定式矫正、动态矫正均无法矫正硅片前后位置的问题。

本发明目的之二是提供一种硅片矫正方法。

为达到上述目的之一，本发明采用以下技术方案：一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，其中，包括：基座；支撑座，所述支撑座两个为一组，分别前后相对设置，所述支撑座之间具有间隙，每组所述支撑座安装在所述基座上的左右两侧；传送辊，所述传送辊可旋转安装在所述支撑座上，分别安装在每组所述支撑座上；驱动装置，所述驱动装置安装在所述支撑座上，所述驱动装置动力连接所述传送辊；传送带，所述传送带至少为两条，所述传送带沿前后方向间隔设置在传送辊上；载片台，所述载片台设置在两条所述传送带上，所述载片台具有：触发板，所述触发板向下延伸穿过间隔设置的所述传送带的空隙处；滑座，所述滑座安装在所述基座上，所述滑座上具有：滑槽，所述滑槽位于所述传送带的空隙下，所述触发板滑动连接所述滑槽；矫正机构，所述矫正机构设置在所述滑座两侧，所述矫正机构为下凹结构，该下凹结构的边缘为弧形，，所述矫正机构包括：连接齿，所述连接齿分布在所述矫正机构的所述弧形位置上；固定座，所述固定座固定连接在所述矫正机构上；转柱，所述转柱可旋转连接在所述固定座上，所述固定座与所述转柱连接处具有偏置弹簧，所述转柱上具有：传动齿，所述传动齿分布在所述转柱上；被动部，所述被动部固定连接所述转柱，所述被动部(其中一部分)位于滑槽上；第一齿轮，所述第一齿轮的直径小于所述转柱的直径，所述第一齿轮可旋转连接在所述固定座上；转动部，所述转动部的一端连接所述第一齿轮；支撑杆，所述支撑杆可旋转连接所述转动部的另一端，所述支撑杆穿过所述转动部；第二齿轮，所述第二齿轮连接所述支撑杆的下端，所述第二齿轮啮合所述连接齿；导向轮，所述导向轮连接所述支撑杆的上端，所述导向轮位于所述载片台两侧。

在上述技术方案中，本发明实施例首先将圆形硅片放入至载片台上后启动驱动装置，通过驱动装置带动传送带向一侧移动，使得硅片前端侧贴合导向轮，此时，与载片台相连的触发板沿滑座上的滑槽滑动抵住矫正机构的被动部；之后在载片台持续移动的同时触发板撑开被动部带动转柱旋转，从而使得直径小于转柱的第一齿轮在转柱上的传动齿下带动旋转(根据传动比原则，相当于小齿轮的第一齿轮旋转度会大于相当于大齿轮的转柱旋转度)，进而使得第一齿轮转动，带动转动部、支撑杆以及导向轮旋转，最后使得导向轮沿硅片的弧形端面由前向后进行弧形方向的移动，对硅片的前后及左右位置进行矫正。