[发明专利]红外探测器芯片的接触电极制备方法在审

专利信息
申请号: 202010235091.2 申请日: 2020-03-30
公开(公告)号: CN111403502A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 刘世光;张轶;谭振;周立庆 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/09;H01L31/101;H01L31/18
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 张然
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 红外探测器 芯片 接触 电极 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种红外探测器芯片的接触电极制备方法,其特征在于,包括:

在钝化层表面涂覆光刻胶,并进行光刻及显影,形成适于制备接触孔的光刻胶图形;

腐蚀所述钝化层;

对所述钝化层远离所述碲镉汞的一侧进行金属电极蒸镀;

去除所述光刻胶以及附着于所述光刻胶上的金属层。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述钝化层为硫化锌层。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述光刻胶为正性光刻胶或负性光刻胶。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述光刻胶图形的厚度大于等于1微米且小于等于4微米。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述腐蚀所述钝化层,包括:

将所述芯片浸泡于盛放有腐蚀液的烧杯中;

将所述烧杯放置于超声水槽中。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述腐蚀液为浓盐酸、浓盐酸和水的混合液、或浓盐酸和浓硝酸的混合液。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,当所述腐蚀液为浓盐酸和水的混合液,所述浓盐酸与所述水的体积比大于等于0.1且小于等于10;

当所述腐蚀液为浓盐酸和浓硝酸的混合液,所述浓盐酸与所述浓硝酸的体积比大于等于0.1且小于等于10。

8.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述超声水槽的超声频率大于等于20KHz且小于等于200KHz。

9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对所述钝化层远离所述碲镉汞的一侧进行金属电极蒸镀,包括:

采用热蒸发技术在所述钝化层远离所述碲镉汞的一侧依次蒸镀铬层、金层,所述铬层的厚度大于等于且小于等于所述金层的厚度大于等于且小于等于

10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述去除所述光刻胶以及附着于所述光刻胶上的金属层,包括:

采用有机溶剂溶解所述光刻胶。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十一研究所,未经中国电子科技集团公司第十一研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010235091.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top