[发明专利]显示装置和显示装置的制造方法有效
申请号: | 202010235869.X | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111430565B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 李远航 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;G06F3/041;H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 徐世俊 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 制造 方法 | ||
提供一种显示装置与一种显示装置的制造方法。所述显示装置包括一触控层。所述触控层包括至少一无机绝缘层、至少一金属层以及一钝化层。所述金属层设置于所述无机绝缘层上,并且形成一触控电极的图案。所述钝化层覆盖所述无机绝缘层以及所述金属层,并且包括一有机光阻,所述有机光阻掺杂有氨吸收粒子。
技术领域
本发明涉及显示器技术领域,特别是涉及一种显示装置和显示装置的制造方法。
背景技术
有机发光二极体内嵌式触控的显示面板(organic on-cell touch displaypanel,OLED on-cell touch display panel),又称DOT技术(direct on cell touch,DOT)。集成OLED及触控结构,相较外挂式触控面板具有更好的透过率、耐弯折性、及轻薄等特点,将成为柔性OLED显示未来趋势。此技术为在OLED面板的层薄膜封装(thin filmencapsulation,TFE)上直接利用低温工艺(T≤90℃)制作触控结构,从而实现OLED和触控结构的集成。图1显示使用DOT技术的OLED面板的结构示意图。一般的OLED面板结构,从下到上分别为一柔性衬底基板10(如polyimide,PI基板)、一阵列基板11、一发光器件层12以及一薄膜封装层13。使用DOT技术的触控层,从下到上为一第一无机绝缘层14、一第一金属层15、一第二无机绝缘层14、一第二金属层15、一钝化层16。面板的外贴膜层,包括一偏光片层18和一盖板层19,通过光学透明胶(optical clear adhesive,OCA)胶实现贴合。其中所述第一无机绝缘层14和所述第二无机绝缘层14的材料为硅氮化和物(SiNx),所述第一金属层15和所述第二金属层15形成金属触控电极的图案,材质可以为钛-铝-钛复合材料(Ti-Al-Ti)、钼(Mo)或者其他低阻抗金属。
在实际的DOT面板中,在高温条件下的可靠度测试后,所述偏光片层18出现变色情况,如图2所示,导致产品失效。所述偏光片层变色与氢(NH3)相关。在DOT面板生产过程中,无机绝缘层材质为硅氮化和物(SiNx)及硅氧化和物(SiOx),采用等离子体增强化学的气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)进行镀膜,其反应化学式为SiH4(g)+NH3(g)+N2(g)→SiNx(s)+H2(g)以及SiH4(g)+N2O(g)→SiOx(s)+H2(g)+N2(g)。可见在SiNx镀膜中会采用氢(NH3)。在镀膜过程中形成的NH4+会残留在膜层内,特别是DOT触控层结构中所述第一无机绝缘层14和第二无机绝缘层14。SiNx的低温镀膜过程所形成的NH4+残留在膜层内。在高温可靠性测试或者长时间显示使用后,这些铵离子会以氨气的形式从膜层析出与所述偏光片层18发生反应,导致偏光片变色,影响显示装置的显示效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种显示装置与显示装置的制造方法,其降低一偏光片层出现变色,导致产品失效的风险。
为解决上述技术问题,本发明提供一种用于一显示装置的一触控层,包括:至少一无机绝缘层;至少一金属层,设置于所述无机绝缘层上,并且形成一触控电极的图案;以及一钝化层,覆盖所述无机绝缘层以及所述金属层,并且包括一有机光阻,所述有机光阻掺杂有氨吸收粒子。
根据本发明的一实施例,所述氨吸收粒子为一氨分子筛,所述氨分子筛的孔径小于100纳米,大于0.38纳米。
根据本发明的一实施例的进一步特征,所述氨分子筛为一4A分子筛。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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