[发明专利]显示装置和显示装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 202010235869.X 申请日: 2020-03-30
公开(公告)号: CN111430565B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 李远航 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;G06F3/041;H01L27/32;H01L51/56
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 徐世俊
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示装置 制造 方法
【说明书】:

提供一种显示装置与一种显示装置的制造方法。所述显示装置包括一触控层。所述触控层包括至少一无机绝缘层、至少一金属层以及一钝化层。所述金属层设置于所述无机绝缘层上,并且形成一触控电极的图案。所述钝化层覆盖所述无机绝缘层以及所述金属层,并且包括一有机光阻,所述有机光阻掺杂有氨吸收粒子。

技术领域

发明涉及显示器技术领域,特别是涉及一种显示装置和显示装置的制造方法。

背景技术

有机发光二极体内嵌式触控的显示面板(organic on-cell touch displaypanel,OLED on-cell touch display panel),又称DOT技术(direct on cell touch,DOT)。集成OLED及触控结构,相较外挂式触控面板具有更好的透过率、耐弯折性、及轻薄等特点,将成为柔性OLED显示未来趋势。此技术为在OLED面板的层薄膜封装(thin filmencapsulation,TFE)上直接利用低温工艺(T≤90℃)制作触控结构,从而实现OLED和触控结构的集成。图1显示使用DOT技术的OLED面板的结构示意图。一般的OLED面板结构,从下到上分别为一柔性衬底基板10(如polyimide,PI基板)、一阵列基板11、一发光器件层12以及一薄膜封装层13。使用DOT技术的触控层,从下到上为一第一无机绝缘层14、一第一金属层15、一第二无机绝缘层14、一第二金属层15、一钝化层16。面板的外贴膜层,包括一偏光片层18和一盖板层19,通过光学透明胶(optical clear adhesive,OCA)胶实现贴合。其中所述第一无机绝缘层14和所述第二无机绝缘层14的材料为硅氮化和物(SiNx),所述第一金属层15和所述第二金属层15形成金属触控电极的图案,材质可以为钛-铝-钛复合材料(Ti-Al-Ti)、钼(Mo)或者其他低阻抗金属。

在实际的DOT面板中,在高温条件下的可靠度测试后,所述偏光片层18出现变色情况,如图2所示,导致产品失效。所述偏光片层变色与氢(NH3)相关。在DOT面板生产过程中,无机绝缘层材质为硅氮化和物(SiNx)及硅氧化和物(SiOx),采用等离子体增强化学的气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)进行镀膜,其反应化学式为SiH4(g)+NH3(g)+N2(g)→SiNx(s)+H2(g)以及SiH4(g)+N2O(g)→SiOx(s)+H2(g)+N2(g)。可见在SiNx镀膜中会采用氢(NH3)。在镀膜过程中形成的NH4+会残留在膜层内,特别是DOT触控层结构中所述第一无机绝缘层14和第二无机绝缘层14。SiNx的低温镀膜过程所形成的NH4+残留在膜层内。在高温可靠性测试或者长时间显示使用后,这些铵离子会以氨气的形式从膜层析出与所述偏光片层18发生反应,导致偏光片变色,影响显示装置的显示效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显示装置与显示装置的制造方法,其降低一偏光片层出现变色,导致产品失效的风险。

为解决上述技术问题,本发明提供一种用于一显示装置的一触控层,包括:至少一无机绝缘层;至少一金属层,设置于所述无机绝缘层上,并且形成一触控电极的图案;以及一钝化层,覆盖所述无机绝缘层以及所述金属层,并且包括一有机光阻,所述有机光阻掺杂有氨吸收粒子。

根据本发明的一实施例,所述氨吸收粒子为一氨分子筛,所述氨分子筛的孔径小于100纳米,大于0.38纳米。

根据本发明的一实施例的进一步特征,所述氨分子筛为一4A分子筛。

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