[发明专利]一种基于CVD钻石的相干光源装置及其制造方法有效
申请号: | 202010238063.6 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111290059B | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 赵芬霞;刘宏明 | 申请(专利权)人: | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;C23C14/48;C23C14/58 |
代理公司: | 深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙) 44465 | 代理人: | 王天兴 |
地址: | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 cvd 钻石 相干 光源 装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种基于CVD钻石的相干光源装置的相干光制造方法,其特征在于:该相干光源装置包括以下装置:
CVD钻石、透射电子显微镜、计算机、单色激光器、液氦制冷装置和透镜组,所述CVD钻石的表面经过光刻的处理,且所述CVD钻石的表面分布有间距10微米,直径100纳米的半球结构,所述单色激光器的型号为400-532纳米型单色激光器,所述透射电子显微镜的型号为TEM透射电子显微镜还包括以下步骤:
步骤一:使用所述TEM透射电子显微镜在所述CVD钻石表面的半球内注入浓度1ppb的氮原子;
步骤二:对所述CVD钻石进行一千摄氏度的退火,使之形成NV色心;
步骤三:使用所述单色激光器和透镜组,将激光聚焦于所述CVD钻石表面任意一个半球,对激光荧光信号的时间进行收集,对收集的激光荧光信号的时间进行记录,整理收集到的激光荧光信号的时间,按时间计算收集到的荧光信号的时间,使用计算机将收集到的荧光信号的时间制成曲线,并计算出收集到的荧光信号时间曲线的自相干函数,如果满足单色心特征,则可以确定该半球内只有单个NV色心,如果不满足单色心特征,则可以确定该半球内至少形成两个以上NV色心;
步骤四:选择所述步骤三中满足单色心特征的CVD钻石,取出所述液氦制冷装置,且取出所述液氦制冷装置内的液态,采用容器进行承载,形成低温液氦环境,将所述CVD钻石、激光器和透镜组置于容器内,进而使所述CVD钻石、激光器和透镜组处于低温的液氦环境中,由于所述CVD钻石上的半球结构内NV色心的荧光能量在低温下向零声子线位置集中,从而透过所述半球结构的光源是一种良好的637nm相干光源。
2.根据权利要求1所述的一种基于CVD钻石的相干光源装置的相干光制造方法,其特征在于:所述步骤一中ppb是一个无量纲量,在溶液中是用溶质质量占全部溶液质量的十亿分比来表示的浓度,也称十亿分比浓度,即十亿分之一,所述ppb常用于浓度非常小的场合下。
3.根据权利要求1所述的一种基于CVD钻石的相干光源装置的相干光制造方法,其特征在于:所述步骤三中单色激光器和透镜组之间距离需进行多次调节测量,采集多个激光聚焦于所述CVD钻石表面任意一个半球上的数据。
4.根据权利要求1所述的一种基于CVD钻石的相干光源装置的相干光制造方法,其特征在于:所述步骤三中不满足单色心特征的CVD钻石重复进行步骤二操作,接着进行步骤三操作,直至满足单色心特征为止。
5.根据权利要求1所述的一种基于CVD钻石的相干光源装置的相干光制造方法,其特征在于:还包括固定CVD钻石的固定装置和用于承载液氦的容器。
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