[发明专利]一种掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体；

其中，所述掩膜板用于显示面板的制作，所述显示面板包括显示区和异形区；

所述图案区对应所述显示区，用于形成所述显示区的发光结构；

所述遮挡区对应所述异形区，用于避免在形成所述发光结构的过程中发光材料蒸镀到所述异形区。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区包括多个中空腔体，相邻所述中空腔体在垂直于所述掩膜板厚度方向的平面上的正投影不交叠。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区包括多个中空腔体，所述多个中空腔体在所述掩膜板上同层设置。

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述中空腔体的高度与所述掩膜板的厚度比范围为50％-80％。

5.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区中空腔体的分布密度大于所述图案区蒸镀孔的分布密度。

6.根据权利要求1-5任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区表面还设有至少一个开口槽。

7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括面向蒸镀源的第一面和背向蒸镀源的第二面，所述开口槽位于所述第一面。

8.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述开口槽与所述中空腔体在垂直于所述掩膜 板厚度方向平面上的正投影不交叠。

9.根据权要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述开口槽包括第一开口槽与第二开口槽，所述第一开口槽设于所述第一面，所述第二开口槽设于所述第二面。

10.根据权要求9所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区具有对称面，所述对称面与所述掩膜板主体的厚度方向垂直。

11.根据权要求1-5任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板采用电沉积法或物理气相沉积法制备。