[发明专利]一种掩膜板

说明书

本发明涉及一种掩膜板，所述掩膜板图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。通过在掩膜板遮挡区开设有中空腔体，使得掩膜板可以设置为规则形状，而且由于中空腔体的存在，消除了遮挡区和图案区的差异，从而使掩膜板在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板在张网过程中的褶皱现象.保证蒸镀精度和稳定性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种掩膜板。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)具有驱动电压低、主动发光、视角宽、效率高、响应速度快和柔性显示的许多特点而逐渐取代液晶显示器(LiquidCrystal Display，LCD)显示。

掩膜板(mask)是OLED制备工艺中重要部件，掩膜板可以控制有机材料按照预设图案蒸镀形成发光像素，实现彩色化显示。

针对中小尺寸的显示面板，当前消费需求倾向于高屏占比的全面屏，且其需求已越来越多。高屏占比的全面屏实现也需要预留摄像头等构件的空间，所以异形屏出现。

而异形屏实现方法之一是将蒸镀Mask修改为异形Mask，与传统的规则Mask开口设计相比较，显示区为非规则的类矩形，掩膜板张网时异形区容易出现褶皱，导致后续显示屏像素蒸镀位置精度降低，最终会影响蒸镀效果。

发明内容

基于此，本发明提供了一种掩膜板，解决了掩膜板张网时出现褶皱的问题，提高了后续显示面板像素蒸镀位置的精度。

为实现以上目的，本发明提供了一种掩膜板。

所述掩膜板图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。

在其中一个实施例中，所述遮挡区包括多个中空腔体，相邻所述中空腔体在垂直于所述掩膜板厚度方向的平面上的正投影不交叠。

在其中一个实施例中，所述遮挡区包括多个中空腔体，所述多个中空腔体在所述掩膜板上同层设置；

优选地，所述中空腔体的高度与所述掩膜板的厚度比范围为50％-80％。

在其中一个实施例中所述遮挡区中空腔体的分布密度大于所述图案区蒸镀孔的分布密度。

在其中一个实施例中，述遮挡区表面还设有至少一个开口槽。

在其中一个实施例中，掩膜板包括面向蒸镀源的第一面和背向蒸镀源的第二面，所述开口槽位于所述第一面。

在其中一个实施例中，所述开口槽与所述中空腔体在垂直于所述掩模板厚度方向平面上的正投影不交叠。

在其中一个实施例中，所述开口槽包括第一开口槽与第二开口槽，所述第一开口槽设于所述第一面，所述第二开口槽设于所述第二面。

在其中一个实施例中所述遮挡区具有对称面，所述对称面与所述掩膜板主体的厚度方向垂直。

在其中一个实施例中，所述掩膜板采用电沉积法或物理气相沉积法制备。

本发明提供的掩膜板，由于在遮挡区内设有至少一个中空腔体，使得掩膜板可以设置为规则形状，而且由于中空腔体的存在，减少甚至是消除了遮挡区和图案区的差异，从而使掩膜板在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板在张网过程中的褶皱现象，保证蒸镀精度和稳定性。

附图说明

图1为现有技术中一种显示面板结构示意图；

图2为本发明一实施例提供的掩膜板的结构俯视示意图；

图3为本发明又一实施例提供的掩膜板剖面结构示意图；

图4为本发明又一实施例提供的掩膜板遮挡区局部放大示意图；