[发明专利]一种碱性蚀刻液处理方法

权利要求书

1.一种碱性蚀刻液处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；

接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度=（系数1*系数2*硫代硫酸钠量）/回收液药量，碘加入量=（固定值-调和前浓度）*碘分子量*回收液药量。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境形成 方法为添加氢氧化钠。

3.根据权利要求2所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境的 pH值介于pH＝9至pH＝13之间。

4.根据权利要求2所述的蚀刻液处理方法，其特征是该碱性环境为 pH值介于pH＝10至pH＝12之间。

5.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该酸性环境形成 方法为添加硫酸。

6.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该氧化剂为过硫 酸铵或氯酸钠。

7.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该酸性环境为 pH值小于pH＝5。

8.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该酸性环境为 pH值介于pH＝1到pH＝4之间。

9.根据权利要求1所述的蚀刻液处理方法，其特征是该酸性环境为 pH值介于pH＝2到pH＝3之间。