[发明专利]一种碱性蚀刻液处理方法

说明书

一种碱性蚀刻液处理方法，首先对含有金离子的碘化钾蚀刻液进行还原反应，从而析出金金属；再使该经处理的碘化钾蚀刻液进行碘离子氧化反应，从而析出碘分子，此方法可以有效的连续回收蚀刻液中的金金属与碘分子成分。

技术领域

一种涉及蚀刻液的处理方法，尤其涉及从含碘化钾的金蚀刻液中回收金与回收碘的处理方法。

背景技术

半导体及光电产业制造工艺中均利用蚀刻法(etching)来进行蚀刻制造工艺，含有碘化钾(KI，potassium iodide)的溶液为常见的金蚀刻液(gold etchant)，当金蚀刻液中的碘化钾浓度或蚀刻能力不符合制造工艺需求时，此蚀刻液会因无法再度活化使用而被废弃，即为废弃的蚀刻液。因此废弃的蚀刻液中含有浓度不一的金离子(gold ion)，金金属(gold)为经济价值高昂的贵金属(precious metal)，具有高度的回收价值。因此废弃的蚀刻液通常交由回收厂商进行金回收处理。

当含有碘化钾的废弃金蚀刻液进行金回收后，剩余的溶液即为废水 (wastewater)，由于废水中含有大量碘化钾成分，对水中生物的危害性很大，因此需要除去毒性后才可排放。目前的废水处理是另外设置处理场，利用化学分法进行除碘或中和毒性的程序；待废水符合排放标准后予以排放。上述的现行方法，是高成本且低效率的，无法以一贯化的程序处理含碘化钾的金蚀刻液。

发明内容

基于此，有必要提供提出一种有效回收蚀刻液成分的发明，可在一个系统内回收金金属与碘分子，使最终废水降低毒性。

在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；

接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度＝(系数1* 系数2*硫代硫酸钠量)/回收液药量，碘加入量＝(固定值-调和前浓度)*碘分子量*回收液药量。

该碱性环境形成方法为添加氢氧化钠。

该碱性环境的pH值介于pH＝9至pH＝13之间。

该碱性环境为pH值介于pH＝10至pH＝12之间。

该酸性环境形成方法为添加硫酸。

该氧化剂为过硫酸铵或氯酸钠。

该酸性环境为pH值小于pH＝5。

该酸性环境为pH值介于pH＝1到pH＝4之间。

该酸性环境为pH值介于pH＝2到pH＝3之间。

上述碱性蚀刻液处理方法，首先对含有金离子的碘化钾蚀刻液进行还原反应，从而析出金金属；再使该经处理的碘化钾蚀刻液进行碘离子氧化反应，从而析出碘分子，此方法可以有效的回收蚀刻液中的金金属与碘分子成分。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以更好地理解本发明的技术方案，并不用于限定本发明。

本发明所要揭示的是一种蚀刻液处理方法。在碱性环境下添加双氧水使蚀刻液中的金离子化合物进行还原反应，从而析出金金属；

接着在酸性环境下添加氧化剂于该蚀刻液中，使该蚀刻液中的碘离子进行氧化反应，析出碘分子，从而回收碘分子，采用的公式为：调和前浓度＝(系数1* 系数2*硫代硫酸钠量)/回收液药量，碘加入量＝(固定值-调和前浓度)*碘分子量*回收液药量。

该碱性环境形成方法为添加氢氧化钠。

该碱性环境的pH值介于pH＝9至pH＝13之间。