[发明专利]一种浸泡设备及刻蚀线去膜方法

权利要求书

1.一种浸泡设备，其特征在于，包括

上水刀(1)、下水刀(2)和载物传输机构(3)，所述载物传输机构(3)用于承载待浸泡件(5)于所述上水刀(1)和所述下水刀(2)之间，并输送所述待浸泡件(5)，所述上水刀(1)和所述下水刀(2)用于向所述待浸泡件(5)喷射溶液；

水盘(4)，所述水盘(4)设置于所述上水刀(1)的下方，且所述下水刀(2)设置于所述水盘(4)形成的腔体内，所述载物传输机构(3)承载所述待浸泡件(5)于所述水盘(4)形成的腔体内，所述水盘(4)用于盛载溶液；

第一驱动机构(7)和第二管路(8)；

过滤器(10)，所述过滤器(10)包括第一过滤器(101)和/或第二过滤器(102)；

药液加载机构(11)，所述药液加载机构(11)包括第三驱动机构和载药容器，所述第三驱动机构设置于所述第二过滤器(102)和所述第一驱动机构(7)之间的所述第二管路(8)上，所述第三驱动机构将所述载药容器中的药液驱动至所述第二管路(8)中。

2.如权利要求1所述的浸泡设备，其特征在于，所述载物传输机构(3)包括支架、上滚轮(31)和下滚轮(32)，所述支架一端支撑于所述水盘(4)的侧壁，用于支撑所述上滚轮(31)和所述下滚轮(32)，所述上滚轮(31)和所述下滚轮(32)之间用于放置所述待浸泡件(5)，所述上滚轮(31)和所述下滚轮(32)转动以带动所述待浸泡件(5)传输。

3.如权利要求1所述的浸泡设备，其特征在于，所述水盘(4)设置出水口(41)，所述出水口(41)与第一管路(42)连接，所述第一管路(42)设置第一调节阀(43)，所述第一调节阀(43)用于控制所述水盘(4)的溶液量。

4.如权利要求3所述的浸泡设备，其特征在于，包括储液槽(6)，所述第一管路(42)与所述储液槽(6)连通，用于将溶液输出至所述储液槽(6)。

5.如权利要求4所述的浸泡设备，其特征在于，所述第二管路(8)连接于所述第一驱动机构(7)和所述上水刀(1)、所述下水刀(2)之间，用于将所述储液槽(6)中溶液驱动至所述上水刀(1)和所述下水刀(2)。

6.如权利要求5所述的浸泡设备，其特征在于，包括第二调节阀(9)，所述第二调节阀(9)设置于所述第二管路(8)上，用于调节所述上水刀(1)和所述下水刀(2)的溶液流量。

7.如权利要求6所述的浸泡设备，其特征在于，所述第二调节阀(9)包括第一子调节阀(91)和第二子调节阀(92)，所述第一子调节阀(91)用于调节控制所述上水刀(1)的溶液流量，所述第二子调节阀(92)用于调节控制所述下水刀(2)的溶液流量。

8.如权利要求5所述的浸泡设备，其特征在于，包括过滤器(10)，所述过滤器(10)包括第一过滤器(101)和/或第二过滤器(102)，所述第一过滤器(101)设置于所述储液槽(6)内，将所述储液槽(6)分为第一腔体(61)和第二腔体(62)，所述第一管路(42)与所述第一腔体(61)连通，所述第一驱动机构(7)设置于所述第二腔体(62)内，将经过所述第一过滤器(101)过滤的溶液驱动至所述第二管路(8)；

所述第二过滤器(102)设置于所述第二管路(8)上，用于过滤流通至所述上水刀(1)和所述下水刀(2)的溶液。

9.如权利要求4所述的浸泡设备，其特征在于，所述药液加载机构(11)还用于将药液加载至所述储液槽(6)。

10.一种刻蚀线去膜方法，其特征在于，经过曝光显影和刻蚀后的印刷电路板，经过权利要求1-9任意一项的所述浸泡设备的载物传输机构(3)输送，经过水盘(4)盛载的去膜液及上水刀(1)和下水刀(2)喷射的去膜液，并输出，使得所述印刷电路板经过去膜液浸泡；将输出的印刷电路板去膜处理。