[发明专利]一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机

权利要求书

1.一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，其特征是：包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。

2.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，其特征是：所述气动防爆软轴驱动主机采用全气动防爆器件。

3.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，其特征是：所述的柔性清洗软轴外层是橡塑材料，内层是钢丝弹簧。

4.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，其特征是：所述的负压回收干拾器它有一个中空的圆柱体，圆柱体下设有至少三个固定脚，固定脚下设有负压稳定吸盘，圆柱体一侧设有除尘接口法兰。

5.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，其特征是：所述柔性清洗软轴末端的专用清洗头是可以张开的爪。