[发明专利]一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机

说明书

本发明公开了一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。本发明采用全气动防爆器件，将干式软轴应用于多晶硅还原炉尾气管清洗，它安全高效、干净快捷，全程封闭工作，不会产生二次污染。将驱动系统、吸附系统、干拾系统进一步整合成组合体，使用方便灵活。

技术领域

本发明涉及一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，用于对多晶硅还原炉尾气管的清理。属于机械设备领域。

背景技术

多晶硅还原炉在生成多晶硅棒的过程中，会在尾气管上逐渐形成坚硬的垢层。它们的存在会导致导热性能降低甚至破坏等问题，必须及时清理。目前主要靠人工手动清理，由于尾气管度较长，且为蛇形管道，作业时尾气管会有各种有毒有害气体溢出，给清理人员带来无法清洗以及健康和安全风险，同时由于生产车间防爆等级很高，为消除隐患，一般电动工具很难排上用场，因此坚硬的垢层很难找到快速、有效的方法清理，清理时间至少都在24小时以上，而且清理并不彻底，时间长了甚至会导致炉盘上的管路堵死；清理后的粉尘又会污染十万级净化车间。因此研究一种行之有效的手段来改变现状是很有必要的。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，它安全高效、干净快捷，且不会产生二次污染。

为了达到上述目的，本发明的技术方案是，一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。

所述气动防爆软轴驱动主机采用全气动防爆器件。

所述的柔性清洗软轴外层是橡塑材料，内层是钢丝弹簧。

所述的负压回收干拾器它有一个中空的圆柱体，圆柱体下设有至少三个固定脚，固定脚下设有负压稳定吸盘，圆柱体一侧设有除尘接口法兰。

所述柔性清洗软轴末端的专用清洗头是可以张开的爪。

所述防爆柔性清洗软轴可以深入尾气管中，且可以随着管道进行弯曲，适用直管，弯管等各种场合。

所述防爆柔性清洗软轴可穿过负压回收干拾器，负压回收干拾器底面与尾气管盘面相接触，负压回收干拾器吸风口与室内除尘系统连接。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机利用稳定压缩空气进行驱动。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机可依靠本机进行空气干燥，过滤。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机可通过调节转速调节软轴所连清洗头清洗速度和效果。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机可调节负压干拾器吸力。

所述专用清洗工具在离心力的作用下清洗爪可以张开，在高速转动下可以实现较大的剥离力，可适用于不同直径的管道。

本发明采用全气动防爆器件，将干式软轴应用于多晶硅还原炉尾气管清洗，它安全高效、干净快捷，全程封闭工作，不会产生二次污染。将驱动系统、吸附系统、干拾系统进一步整合成组合体，使用方便灵活。

附图说明

图1是本发明立体示意图。

图2是本发明主视示意图。

图3是本发明主机主视图。