[发明专利]一种多工位轮转设备有效

专利信息
申请号: 202010254611.4 申请日: 2020-04-02
公开(公告)号: CN111408851B 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 郁慰;张鹏远;程亚飞 申请(专利权)人: 上海精测半导体技术有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/70;H01L21/677
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201703 上海市青浦区赵巷*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 多工位 轮转 设备
【权利要求书】:

1.一种多工位轮转设备,其特征在于,包括:

支架(1);

至少两组导向机构(2),沿竖直方向间隔设置于所述支架(1);

多个载具(3),滑动设置于所述支架(1);

第一驱动机构(6),所述导向机构(2)的两端均设置有所述第一驱动机构(6),所述第一驱动机构(6)用于驱动所述载具(3)沿竖直方向运动;

第二驱动机构(4),设置于所述支架(1),用于驱动所述载具(3)在所述导向机构(2)上滑动,以及驱动所述载具(3)在所述第二驱动机构(4)和所述导向机构(2)之间转换;

所述多工位轮转设备还包括吸附机构(5),所述吸附机构(5)与所述载具(3)连接,用于吸附工件;

所述吸附机构(5)包括运动组件(51)和第一接头(52),所述第一接头(52)设置于所述支架(1),并与真空发生器连通,所述运动组件(51)包括第二接头(512),所述第二接头(512)能够与所述第一接头(52)连通。

2.根据权利要求1所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述第二驱动机构(4)包括动子组件(43)和定子,所述动子组件(43)和所述定子能够实现电磁效应,每个所述载具(3)上均连接有所述动子组件(43),所述定子包括运动定子(41)和至少两组固定定子(42),至少两组所述固定定子(42)设置于所述支架(1),并与所述导向机构(2)一一对应,所述运动定子(41)连接于所述第一驱动机构(6)的输出端,并能够与所述固定定子(42)对接。

3.根据权利要求2所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述定子为线圈,所述动子组件(43)包括永磁铁。

4.根据权利要求2所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述动子组件(43)包括固定件(431)和动子(432),所述载具(3)与所述固定件(431)连接,所述固定件(431)开设有U型槽(433),所述U型槽(433)相对的两个槽壁上均连接有所述动子(432),所述定子插设于所述U型槽(433)内。

5.根据权利要求1所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述载具(3)上开设有吸附孔,所述运动组件(51)包括止回阀(511),所述止回阀(511)与所述吸附孔连通。

6.根据权利要求1所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述多工位轮转设备包括上料工位(101)和下料工位(107),所述载具(3)能够运动至所述上料工位(101)和所述下料工位(107),所述上料工位(101)和所述下料工位(107)的一侧均设置有所述第一接头(52)。

7.根据权利要求1所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述第一接头(52)和所述第二接头(512)中的一个开设有插槽(513),另一个设置有凸块(521),所述凸块(521)能够插接于所述插槽(513)中。

8.根据权利要求2所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述支架(1)上还设置有位置检测组件,所述位置检测组件用于检测所述运动定子(41)是否与所述固定定子(42)对接。

9.根据权利要求2所述的多工位轮转设备,其特征在于,所述第一驱动机构(6)包括驱动件(61)、螺杆(62)和螺母,所述驱动件(61)与所述螺杆(62)驱动连接,所述螺母螺接于所述螺杆(62),所述运动定子(41)连接于所述螺母。

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