[发明专利]一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法

权利要求书

1.一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：准备工作：预备透射电子显微镜，以及用于对CVD钻石进行固定的装置，将需要用于注入的氮原子材料放置在透射电子显微镜内，用于预备使用，并启动透射电子显微镜氮原子进行预加工，检验设备是否出现问题，透射电子显微镜对需要注入的氮原子材料进行预加热；

步骤二：固定材料的准备工作：对CVD钻石晶片进行加热，并采用氮原子测定专用的高精度机器，对CVD钻石晶片内的氮原子浓度进行测定，单位需要精确到个位，测定进行多组测定，依据区域位置的不同对测量的数据测定分组的，测定完毕后，预备笔记本或采用数据记录设备对采集的测定数据进行记录，记录时按照区域的分组进行记录；

步骤三：数据的测量：根据所述步骤二所得数据结果，将目标需求的浓度对比需要注入特定区域现有的浓度，得出需要注入该区域氮原子的数量，单位差别精确到个，根据该区域的位置并根据需要注入原子的数量，计算出注射入对应区域浓度需要提供的能量；

步骤四：对氮原子进行预加工：启动透射电子显微镜，对氮原子进行加速，配合温度加速至达到指定的能量，通过透射电子显微镜向固定的CVD钻石内注入，注入时保证设备正常的运行；

步骤五：浓度的测量：根据步骤一至步骤四得到指定的CVD钻石，原子能量氮原子，根据区域进行在此使用氮原子数量测定工具测定并对CVD钻石进行氮原子浓度进行测定，得出对应区域氮原子数量的浓度，根据特定目标区域与现有需要的浓度进行对比，根据区域对比是否达到需求，根据测定的结果，判断是否达到需求，达到需求步骤结束，得到需要的，并对设备进行维护和检验，当没有达到需求时需要进入步骤六，操作步骤六；

步骤六：当步骤五中结果没有达到需求，需要重新重复步骤二至步骤五，同时对透射电子显微镜精度进行调试，以及检验设备是否出现问题或故障，进行检测后，当透射电子显微镜出现问题，对透射电子显微镜进行维修，当设备没有出现问题以及故障，对设备进行调试，直至设备达到标准误差范围内需求，进而对CVD设备加工完毕。

2.根据权利要求1所述的一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于：任意一个所述氮原子被注入的位置均与周围所述CVD钻石内碳原子形成碳原子-氮原子化学键。

3.根据权利要求1所述的一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于：所述CVD钻石晶片中需要注入的氮原子数量为二乘以十的十三次方每立方厘米至二乘以十的十四次方立方厘米之间。

4.根据权利要求1所述的一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于：任意一个所述氮原子周围均形成三个碳原子-氮原子化学键。

5.根据权利要求1所述的一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于：所述步骤二中加热温度为五十摄氏度至七十摄氏度之间。

6.根据权利要求5所述的一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于：加热至权利要求五中二乘以十的十三次方每立方厘米至二乘以十的十四次方立方厘米之间的能量需求为二千到三万电子伏之间。

7.根据权利要求1所述的一种提高CVD钻石特定区域氮原子浓度的方法，其特征在于：需定期对步骤一所述透射电子显微镜进行检修，所述透射电子显微镜上涂有防锈漆。