[发明专利]硅片检测分选机及其分选方法

权利要求书

1.一种硅片检测分选机，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上安装有工作平台(2)，工作平台(2)上从左至右依次设置有上料工位(3)、检测工位和分类工位(8)，工作平台(2)上表面的中部安装有动力输送带(4)，所述动力输送带(4)依次贯穿上料工位(3)、检测工位和分类工位(8)；所述检测工位包括暗箱一(5)和暗箱二(7)，暗箱一(5)与暗箱二(7)内分别安装有相机，一个相机镜头朝下且其位于动力输送带(4)上方，另一个相机镜头朝上且其高度低于动力输送带(4)的高度。

2.如权利要求1所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述上料工位(3)的结构为：包括垂直横架于动力输送带(4)上方的移载机构(31)，位于动力输送带(4)两侧的工作平台(2)上对称安装有料架装载台(33)，所述料架装载台(33)位于移载机构(31)下方，位于料架装载台(33)后方的动力输送带(4)侧面安装有导正机构(32)；位于料架装载台(33)下方的工作平台(2)底面固装有顶升机构(34)，所述顶升机构(34)向上贯穿工作平台(2)。

3.如权利要求2所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述移载机构(31)的结构为：包括固装于机架(1)的移动直线模组(311)，移动直线模组(311)的长度方向与动力输送带(4)的传动方向相垂直；所述移动直线模组(311)下方对称安装有“⊥”型结构的支臂(312)，单个支臂(312)底面的两端分别安装有吸盘(9)；所述移动直线模组(311)同步驱动两个支臂(312)移动，两个支臂(312)之间的距离与料架装载台(33)和动力输送带(4)之间的距离一致。

4.如权利要求2所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述导正机构(32)的数量为两组，对称分列于动力输送带(4)的两侧；单组导正机构(32)的结构为：包括与工作平台(2)固装的立块(321)，立块(321)顶部固装有导正气缸(322)，导正气缸(322)的输出端朝向动力输送带(4)，导正气缸(322)的输出端端头固装有支条(323)，支条(323)上均匀安装有多个导轮(324)，多个导轮(324)沿着动力输送带(4)的传动方向成线性排列。

5.如权利要求2所述的硅片检测分选机，其特征在于：单组料架装载台(33)的结构为：包括平行间隔固装于工作平台(2)的导轨(331)，两根导轨(331)上共同安装有沿其滑动的抽板(333)，抽板(333)上沿着滑动的方向间隔放置有料架(334)，料架(334)内堆叠有硅片(10)；所述抽板(333)外端头固装有把手(335)；两根导轨(331)外侧的工作平台(2)上对称布置有吹气机构(332)，相对的吹气机构(332)位于料架(334)两侧；两根导轨(331)间隔内的工作平台(2)上安装有磁铁(336)；

所述顶升机构(34)的结构为：包括竖直固装于工作平台(2)底面的顶升直线模组(341)，顶升直线模组(341)上安装有沿其上下移动的支板(342)，支板(342)上表面的两端对称安装有立杆(343)，单根立杆(343)顶部均固装有推盘(344)；

位于两根导轨(331)之间的工作平台(2)上开有通孔(21)；所述料架(334)、通孔(21)和推盘(344)在竖直方向对应。

6.如权利要求1所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述检测工位的结构为：包括暗箱一(5)，暗箱一(5)横架于动力输送带(4)上方，暗箱一(5)内的相机镜头朝下并正对着动力输送带(4)表面；位于暗箱一(5)后方的工作平台(2)上安装有转盘机构(6)，位于动力输送带(4)侧面的工作平台(2)上安装有暗箱二(7)，暗箱二(7)竖直向上贯穿工作平台(2)，暗箱二(7)内的相机镜头朝上并位于转盘机构(6)下方。