[发明专利]反射式光栅尺

权利要求书

1.一种反射式光栅尺，其特征在于：包括有光源、镜头、主光栅尺、副光栅尺和接收单元，所述主光栅尺上设有第一光栅条纹，所述副光栅尺上设有与所述第一光栅条纹相对应的第二光栅条纹，所述接收单元与副光栅尺为相对平行间隔设置，所述光源设置于所述镜头上，所述第一光栅条纹包括RI码道和增量码道，RI码道依次包括第一不反光区、增量码道区、第一反射区、增量码道区、第一不反射区、增量码道区、第二反射区、第二不反光区，接收单元上对应RI码道位置设有接收区，所述接收区依次包括Z+信号区、A+信号区、B+信号区、A-信号区、B-信号区、Z-信号区。

2.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述增量码道和增量码道区为等间距的光栅条纹，间距为P＝1个透光条纹长度+1个不透光条纹长度。

3.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：主光栅尺上RI码道的第一反射区和第一不反射区长度相同。

4.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：主光栅尺与副光栅尺之间的距离其中n＝1,2,3...；P为增量码道光栅条纹间距pitch，λ为LED灯光波长。

5.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述接收单元与所述副光栅尺分开制作或制作合为一体。

6.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述光源为LED光源。

7.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述镜头为非球面镜，所述光源经过所述非球面镜输出平行光。

8.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述RI码道的增量码道区为若干个。

9.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述RI码道的第二反射区长度大于或等于RI码道的增量码道区长度之和。

10.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述第一不反光区、所述第二不反光区、所述第一反射区、所述第一不反射区、所述第二反射区反向设置。

11.根据权利要求1所述的反射式光栅尺，其特征在于：所述RI码道的三个增量码道区合成为一个。