[发明专利]用于装配在光阻涂布机上的旋转马达

权利要求书

1.一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，其特征在于，包括：

马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；

真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；

转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；

转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；

所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；

所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。

2.如权利要求1所述的旋转马达，其特征在于，所述转轴伸入所述真空腔内的下端收缩成漏斗状。

3.如权利要求2所述的旋转马达，其特征在于，所述真空腔内具有至少两个弹片，所述弹片用于支撑所述转轴伸入所述真空腔内的下端。

4.如权利要求3所述的旋转马达，其特征在于，还包括编码器，所述编码器围绕住所述转轴下端的编码器，所述编码器设于所述马达本体和所述真空腔的交界处，所述编码器用于计算所述转轴的转动圈数。

5.如权利要求4所述的旋转马达，其特征在于，所述马达本体呈桶状，所述马达本体上表面设有上固定盖，所述上固定盖上凸出有圆形平台；所述马达本体与所述真空腔之间具有下底，所述第二轴承位于所述下底上方，所述编码器位于所述下底下方。

6.如权利要求4或5所述的旋转马达，其特征在于，所述线圈组与第一电线相连；所述马达本体的侧壁设有第一穿线孔，所述第一穿线孔用于所述第一电线的穿过；所述编码器与第二电线相连；所述真空腔的底部设有第二穿线孔，所述第二穿线孔用于所述第二电线的穿过。

7.如权利要求4或5所述的旋转马达，其特征在于，所述线圈组与第一电线相连；所述马达本体的侧壁设有第一穿线孔，所述第一穿线孔用于所述第一电线的穿过；所述编码器与第二电线相连；所述真空腔的侧壁设有第二穿线孔，所述第二穿线孔用于所述第二电线的穿过。

8.如权利要求4所述的旋转马达，其特征在于，所述真空腔底部凸出圆形腔体；所述圆形腔体底部设有圆形凹槽，所述圆形凹槽中心设置所述抽气管的接头。

9.如权利要求4所述的旋转马达，其特征在于，所述真空腔的侧壁上具有多个侧壁凹槽，每个所述侧壁凹槽中设有凸出于所述真空腔侧壁的长条型螺丝柱。

10.如权利要求1所述的旋转马达，其特征在于，所述转盘与所述转轴之间采用卡榫固定。