[发明专利]用于装配在光阻涂布机上的旋转马达

说明书

一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，包括：马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。所述旋转马达可以装配在光阻涂布机上，且稳定性高。

技术领域

本发明涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达。

背景技术

旋转马达主要是包括定子(Stator)以及转子(Rotor)。定子(Stator)与转子(Rotor)之间具有空隙。定子(Stator)固定不动，而转子(Rotor)则通常由轴承支撑，以相对定子旋转。

使用在光阻涂布机上的旋转马达，通常以永久磁铁作为转子，在永久磁铁中心插设转轴，以外围的线圈组作为定子。为了将晶圆固定在转轴上进行旋转，通常，用在光阻涂布机上的旋转马达需要在转轴上方套入转盘，再将整个结构，放置入真空箱体内。之后，将晶圆放置在所述转盘上后，对整个真空箱体抽真空，从而使晶圆吸附在转盘上，并且使得在旋转马达旋转过程中，晶圆可以稳固地吸附在转盘一同转动，从而以便相应的喷嘴机构均匀地将光阻液涂布在旋转中的晶圆上。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，以更好地实现对晶圆的转动操作，以更好地帮助实现光阻涂布。

为解决上述问题，本发明提供了一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，包括：马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。

可选的，所述转轴伸入所述真空腔内的下端收缩成漏斗状。

可选的，所述真空腔内具有至少两个弹片，所述弹片用于支撑所述转轴伸入所述真空腔内的下端。

可选的，所述旋转马达还包括编码器，所述编码器围绕住所述转轴下端的编码器，所述编码器设于所述马达本体和所述真空腔的交界处，所述编码器用于计算所述转轴的转动圈数。

可选的，所述马达本体呈桶状，所述马达本体上表面设有上固定盖，所述上固定盖上凸出有圆形平台；所述马达本体与所述真空腔之间具有下底，所述第二轴承位于所述下底上方，所述编码器位于所述下底下方。

可选的，所述线圈组与第一电线相连；所述马达本体的侧壁设有第一穿线孔，所述第一穿线孔用于所述第一电线的穿过；所述编码器与第二电线相连；所述真空腔的底部设有第二穿线孔，所述第二穿线孔用于所述第二电线的穿过。

可选的，所述线圈组与第一电线相连；所述马达本体的侧壁设有第一穿线孔，所述第一穿线孔用于所述第一电线的穿过；所述编码器与第二电线相连；所述真空腔的侧壁设有第二穿线孔，所述第二穿线孔用于所述第二电线的穿过。

可选的，所述真空腔底部凸出圆形腔体；所述圆形腔体底部设有圆形凹槽，所述圆形凹槽中心设置所述抽气管的接头。

可选的，所述真空腔的侧壁上具有多个侧壁凹槽，每个所述侧壁凹槽中设有凸出于所述真空腔侧壁的长条型螺丝柱。

可选的，所述转盘与所述转轴之间采用卡榫固定。