[发明专利]内表面具刻面的固定环和包括该固定环的承载头

权利要求书

1.一种用于化学机械承载头的固定环，所述固定环包括：

大体环状主体，包括

顶表面，所述顶表面经构造以用于化学机械承载头的附接；

底表面，所述底表面由适于接触化学机械抛光系统的抛光垫的塑料形成；

外表面，所述外表面在外顶部周边处与所述顶表面连接且在外底部周边处与所述底表面连接；及

内表面，所述内表面由所述塑料形成以侧向限制所述承载头中正在经受抛光的基板，所述内表面在内顶部周边处与所述顶表面连接且在内底部周边处与所述底表面连接，所述内表面包括18至148个平坦刻面，在抛光期间所述基板同时接触多个刻面使得所述固定环的所述内表面的磨损相较于形成单一接触而言降低，邻近的平坦刻面于角处连接，并且所述内底部周边包括所述平坦刻面的直边，所述平坦刻面的所述直边于所述角处连接使得所述内底部周边限定多边形，

其中所述固定环是单个环，所述固定环包含具有所述内表面的所述环状主体，所述内表面具有平坦刻面。

2.如权利要求1所述的固定环，其中各角自所述顶表面延伸至所述底表面，且其中各刻面具有矩形或方形，所述矩形或方形具有与所述顶表面一起形成的顶直边、与所述底表面一起形成的底直边，及沿着两角的两直侧边。

3.如权利要求1所述的固定环，其中所述内顶部周边形成多边形。

4.如权利要求1所述的固定环，其中所述固定环的中心与平坦刻面之间的距离是150mm至155mm。

5.如权利要求1所述的固定环，其中所述刻面以等角度间距绕所述内表面。

6.如权利要求1所述的固定环，其中所述刻面具有相同的形状。

7.如权利要求1所述的固定环，其中所述刻面垂直于所述底表面。

8.如权利要求1所述的固定环，其中所述直边具有相同的长度。

9.如权利要求1所述的固定环，其中所述刻面是矩形的。

10.承载头，所述承载头包括：

基板承接表面；

大体环状固定环，所述大体环状固定环围绕所述基板承接表面，所述固定环包括

顶表面；

底表面；

外表面，所述外表面在外顶部周边处与所述顶表面连接且在外底部周边处与所述底表面连接；及

内表面，所述内表面在内顶部周边处与所述顶表面连接且在内底部周边处与所述底表面连接，所述内表面包括18至148个平坦刻面，在抛光期间所述基板同时接触多个刻面使得所述固定环的所述内表面的磨损相较于形成单一接触而言降低，邻近的平坦刻面于角处连接，并且所述内底部周边包括所述平坦刻面的直边，所述平坦刻面的所述直边于所述角处连接使得所述内底部周边限定多边形，其中所述固定环是单个环，所述固定环包含具有平坦刻面的所述内表面。