[发明专利]一种新型芯片加工用贴装设备有效
申请号: | 202010266426.7 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN111315203B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 孟辉 | 申请(专利权)人: | 上海裕科实业有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 杨志胜 |
地址: | 200120 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 芯片 工用 装设 | ||
1.一种新型芯片加工用贴装设备,其结构包括:定位贴装机体(1)、承载平台(2)、固定台(3)、控制器(4)、伸缩杆装置(5)、移动机架(6)、空压机(7),所述固定台(3)安装于承载平台(2)上方且与承载平台(2)锁接,所述固定台(3)上方设有定位贴装机体(1),所述定位贴装机体(1)与固定台(3)间隙配合,其特征在于:
所述定位贴装机体(1)上端设有伸缩杆装置(5),所述伸缩杆装置(5)与定位贴装机体(1)锁接,所述伸缩杆装置(5)设于移动机架(6)中侧,所述移动机架(6)左侧设有控制器(4),所述控制器(4)与移动机架(6)电连接,所述移动机架(6)右侧设有空压机(7);
所述定位贴装机体(1)包括吸附板机体(a)、防滑夹装置(b)、滤气板装置(c)、联动杆(d)、滑轨仓(e)、装配杆(f)、夹板(g),所述夹板(g)安装于防滑夹装置(b)内侧,所述防滑夹装置(b)上端设有装配杆(f),所述装配杆(f)上端设有滑轨仓(e),所述滑轨仓(e)上方设有联动杆(d),所述联动杆(d)与滑轨仓(e)扣接,所述联动杆(d)下方设有滤气板装置(c),所述滤气板装置(c)安装于吸附板机体(a)上方;
所述吸附板机体(a)包括吸盘装置(a1)、固定板(a2)、保护框(a3)、通气槽(a4)、气囊组(a5),所述吸盘装置(a1)安装于通气槽(a4)内侧,所述通气槽(a4)左右两侧设有气囊组(a5),所述气囊组(a5)外侧设有保护框(a3),所述通气槽(a4)前后两侧设有固定板(a2);
所述吸盘装置(a1)包括胶圈(a11)、吸盘组(a12)、连通管组(a13)、装配仓(a14),所述吸盘组(a12)安装于装配仓(a14)内侧且与装配仓(a14)扣接,所述装配仓(a14)外侧设有胶圈(a11),所述装配仓(a14)前后侧设有连通管组(a13);
所述滤气板装置(c)包括交换气道板(c1)、活动挡架(c2)、衔接槽(c3),所述活动挡架(c2)安装于交换气道板(c1)内侧且与交换气道板(c1)间隙配合,所述交换气道板(c1)下端设有衔接槽(c3);
所述吸盘组(a12)为多孔吸盘结构,具有分散多点精确吸附的功能,更加的稳定;
所述夹板(g)内表面设有感应装置,能够在检测到芯片上边缘夹持的时候,自动向内调节收缩;
所述装配仓(a14)呈现三角分区排列结构,具有更高的稳定效果;
所述活动挡架(c2)设有与交换气道板(c1)孔槽互相匹配的挡条,能够配合滑轨仓(e)进行对应空气进出的辅助;
用户可通过将需要组合的主板元件放置于固定台(3)上,并通过将芯片上端沿着防滑夹装置(b)之间的空隙放入,当两端夹板(g)检测到芯片时,会自动向内侧进行位移,进而对于芯片往中间位置推动,通过控制器(4)的控制,空压机(7)进行工作,在伸缩杆装置(5)与移动机架(6)的配合下,先行将空气进行压缩,空气通过联动杆(d)向内连通,吸附板机体(a)形成负压状态,进而对于芯片完成一个定位抓取的功能,在需要进行贴装的时候,通过控制器(4)控制装配杆(f)在与滑轨仓(e)配合,向两侧移动,在滤气板装置(c)的配合下释放吸附板机体(a)吸力,进而将芯片精准定位在主板元件上,完成贴装工序;在对于芯片进行吸放的动作时,通过通气槽(a4)与气囊组(a5)的分流,连通管组(a13)与装配仓(a14)配合将空气沿着吸盘组(a12)下方的空气进行抽离,进而形成一个负压状态,对于芯片上表面进行吸住,同时胶圈(a11)起到一个稳定支持的作用,在到达预定位置时需要进行放置动作,通过活动挡架(c2)与交换气道板(c1)形成一个交错的关系,吸附板机体(a)对气压向上释放,进而完成一个释放的工序。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造