[发明专利]基板翘曲度检测监控设备及检测监控方法

权利要求书

1.一种基板翘曲度检测监控设备，其特征在于，包括：

放置待检测基板的载台；

与所述载台垂直设置的检测装置；

控制所述检测装置位移的控制系统；

对所述检测装置的检测数据进行分析的工程数据分析系统；以及，

根据设定的对所述基板的品质进行监控的监控需求自动从所述工程数据分析系统载入数据的统计制程管控系统；

其中，所述基板上设置有至少两个测量点位，所述检测装置对应每个所述测量点位进行量测，并将测量结果上传至所述工程数据分析系统得到所述基板的翘曲度信息，便于所述统计制程管控系统根据设定的需求对所述基板的品质进行监控。

2.根据权利要求1所述的检测监控设备，其特征在于，所述检测监控设备还包括文件服务器，所述文件服务器可按所述基板的类型对所述检测装置的检测数据进行分类存放。

3.根据权利要求1所述的检测监控设备，其特征在于，所述统计制程管控系统包括：

监控需求设定模块，设定对所述基板的品质进行监控的监控需求；

数据载入模块，根据所述监控需求设定模块设定的需求自动从所述工程数据分析系统载入所述基板的品质数据；

品质判断模块，根据所述监控需求设定模块设定的需求判断实际生产中所述基板的品质状况，生成统计制程管控系统图；

趋势判断模块，根据所述统计制程管控系统图判断实际生产中所述基板的品质发展趋势；

报警模块，在所述品质判断模块判断实际生产中所述基板的品质状况超出所述监控需求设定模块所设定的需求时，所述报警模块进行报警。

4.根据权利要求1所述的检测监控设备，其特征在于，所述检测装置为电荷耦合器件的相机。

5.根据权利要求1所述的检测监控设备，其特征在于，基板翘曲度检测监控设备为测量基板长寸设备。

6.根据权利要求5所述的检测监控设备，其特征在于，所述检测装置为包括激光头、发射器及接收器的激光装置，所述激光装置位于所述测量基板长寸设备的龙门架上。

7.根据权利要求1所述的检测监控设备，其特征在于，所述测量点位位于所述基板四周及所述基板的中心位置。

8.根据权利要求1所述的检测监控设备，其特征在于，所述基板具有第一边和与所述第一边垂直的第二边，所述基板上包括与所述第一边平行且依次远离所述第一边分布的第一分割线以及与所述第二边平行且依次远离所述第二边分布的第二分割线，所述测量点位位于所述第一分割线与所述第二分割线的交点处。

9.一种利用如权利要求1～8所述的任一检测监控设备实现基板翘曲度的检测监控方法，其特征在于，包括以下步骤：

S10：在所述载台上放置一待测基板，所述基板上设置有至少两个测量点位；

S20：利用所述检测装置对所述基板上的每个所述测量点位进行量测，得到所述检测装置距所述测量点位的垂直距离；

S30：将所述检测装置测量的结果上传至工程数据分析系统，得到所述基板的翘曲度信息；

S40：在所述统计制程管控系统设定对所述基板的品质进行监控的要求；

S50：所述统计制程管控系统根据设定的对所述基板的品质进行监控的要求自动从所述工程数据分析系统载入数据，生成可监控和预测所述基板的生产品质的统计制程管控系统图。

10.根据权利要求9所述的检测监控方法，其特征在于，在所述步骤S30之前，还包括将所述检测装置测量的结果转化为所述工程数据分析系统的格式，并将转化后的结果保存至所述文件服务器。