[发明专利]基板翘曲度检测监控设备及检测监控方法

说明书

本申请公开一种基板翘曲度检测监控设备及检测监控方法，所述基板翘曲度检测监控设备包括：放置待检测基板的载台；与所述载台垂直设置的检测装置；控制所述检测装置位移的控制系统；对所述检测装置的检测数据进行分析的工程数据分析系统；以及，根据设定的对所述基板的品质进行监控的监控需求自动从所述工程数据分析系统载入数据的统计制程管控系统；其中，所述基板上设置有至少两个测量点位，所述检测装置对应每个所述测量点位进行量测，并将测量结果上传至所述工程数据分析系统得到所述基板的翘曲度信息，便于所述统计制程管控系统根据设定的需求对所述基板的品质进行监控，以实现对基板翘曲度的自动检测和实时监控，节省成本。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板翘曲度检测监控设备及检测监控方法。

背景技术

现有的薄膜晶体管显示装置，在工艺制程中并无监控基板翘曲度的流程，也无专门用于测量翘曲度的设备仪器。但随着触控显示、次毫米发光二极管等新技术的开发，对基板翘曲度的监控在技术开发过程显得尤为重要，对基板翘曲度进行监控可以防止不合格的基板流入后续制程，节省成本。目前主要采用人工手动测量的方式实现基板翘曲度的测量，耗费了大量的人力和实验时间，业界内尚无基板翘曲度监控统计制程管控系统。

发明内容

本申请实施例提供一种基板翘曲度检测监控设备及其检测监控方法，可以实现对基板翘曲度的自动检测和实时监控。

本申请实施例提供一种基板翘曲度检测监控设备，包括：

放置待检测基板的载台；

与所述载台垂直设置的检测装置；

控制所述检测装置位移的控制系统；

对所述检测装置的检测数据进行分析的工程数据分析系统；以及，

根据设定的对所述基板的品质进行监控的监控需求自动从所述工程数据分析系统载入数据的统计制程管控系统；

其中，所述基板上设置有至少两个测量点位，所述检测装置对应每个所述测量点位进行量测，并将测量结果上传至所述工程数据分析系统得到所述基板的翘曲度信息，便于所述统计制程管控系统根据设定的需求对所述基板的品质进行监控。

在一些实施例中，所述检测监控设备还包括文件服务器，所述文件服务器可按所述基板的类型对所述检测装置的检测数据进行分类存放。

在一些实施例中，所述统计制程管控系统包括：

监控需求设定模块，设定对所述基板的品质进行监控的监控需求；

数据载入模块，根据所述监控需求设定模块设定的需求自动从所述工程数据分析系统载入所述基板的品质数据；

品质判断模块，根据所述监控需求设定模块设定的需求判断实际生产中所述基板的品质状况，生成统计制程管控系统图；

趋势判断模块，根据所述统计制程管控系统图判断实际生产中所述基板的品质发展趋势；

报警模块，在所述品质判断模块判断实际生产中所述基板的品质状况超出所述监控需求设定模块所设定的需求时，所述报警模块进行报警。

在一些实施例中，所述检测装置为电荷耦合器件的相机。

在一些实施例中，基板翘曲度检测监控设备为测量基板长寸设备。

在一些实施例中，所述检测装置为包括激光头、发射器及接收器的激光装置，所述激光装置位于所述测量基板长寸设备的龙门架上。

在一些实施例中，所述测量点位位于所述基板四周及所述基板的中心位置。