[发明专利]研磨载具清洗装置及研磨载具清洗方法

权利要求书

1.一种研磨载具清洗装置，用于清洗研磨载具，所述研磨载具的承载面用于承载研磨件；其特征在于，所述研磨载具清洗装置包括：

刷头，所述刷头包括轮盘部分，所述轮盘部分的端面具有中心区域和围绕所述中心区域的周边区域，在所述周边区域分布有刷毛，在所述中心区域至少设有第一喷嘴和第二喷嘴，所述刷头上至少还设有第一流道和第二流道，所述第一喷嘴连通所述第一流道，所述第二喷嘴连通所述第二流道，且所述第一喷嘴用于喷射第一压力的流体，以冲洗研磨载具的承载面上的研磨件，所述第二喷嘴用于喷射第二压力的流体，以冲洗所述研磨载具的承载面，所述第一压力小于或等于所述第二压力；

及，移动机构，与所述刷头连接，用于在第一方向和第二方向上移动所述刷头，所述第一方向为垂直于所述刷头的端面的方向，所述第二方向为与所述刷头的端面平行的方向。

2.根据权利要求1所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述刷毛包括长刷毛和短刷毛，所述长刷毛的长度大于所述短刷毛的长度，且所述轮盘部分的端面的周边区域分为第一区域和第二区域，所述第一区域和所述第二区域为扇形或圆弧形，所述长刷毛分布于所述第一区域，所述短刷毛分布于所述第二区域。

3.根据权利要求2所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述第二喷嘴的喷射方向与所述刷头的端面呈斜夹角，并朝向所述短刷毛所在一侧。

4.根据权利要求2所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述刷头还包括刷柄部分，所述刷柄部分设置在所述轮盘的与所述端面相背设置的背面一侧，且所述第一流道和所述第二流道均设置在所述刷柄部分上。

5.根据权利要求2所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述长刷毛的长度为15～20mm，所述长刷毛与所述短刷毛在垂直于所述轮盘部分的端面上的高度差为5～10mm。

6.根据权利要求2所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述第二方向为所述短刷毛所在的至少一个所述第一区域的中心点与所述端面的中心点连线的方向。

7.根据权利要求2所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述研磨载具清洗装置还包括：设置在所述轮盘部分的设置所述短刷毛的一侧的挡板，且所述挡板在垂直于所述轮盘部分的端面上的高度，小于所述长刷毛在垂直于所述轮盘部分的端面上的高度。

8.根据权利要求7所述的研磨载具清洗装置，其特征在于，

所述挡板与所述长刷毛在垂直于所述轮盘部分的端面上的高度差为1～2mm。

9.一种研磨载具清洗方法，其特征在于，采用如权利要求1至8任一项所述的研磨载具清洗装置对研磨载具进行清洗；所述方法包括：

研磨件在所述研磨载具上研磨完成后，控制所述移动机构沿第一方向移动所述刷头，使所述刷头的刷毛与所述研磨件之间保持距离；

通过所述第一喷嘴向所述研磨件上喷射流体，并沿所述第二方向往复移动所述刷头，以冲洗所述研磨件；

所述研磨件冲洗完成后，从所述研磨载具的承载面取下所述研磨件，控制所述移动机构沿所述第一方向移动所述刷头，使所述刷头的刷毛与所述研磨载具的承载面接触；

通过所述第二喷嘴向所述研磨载具的承载面上喷射流体，并沿所述第二方向往复移动所述刷头，以冲洗所述研磨载具。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，采用如权利要求2所述的研磨载具清洗装置，所述方法中，所述控制所述移动机构沿所述第一方向移动所述刷头，使所述刷头的刷毛与所述研磨载具的承载面接触，具体包括：

控制所述移动机构沿所述第一方向移动所述刷头，使所述长刷毛与所述研磨载具的承载面接触，所述短刷毛与所述研磨载具的承载面保持间隙。