[发明专利]一种低温探针台的工件容载腔体

权利要求书

1.一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体(1)和撑板(5)，所述撑板(5)焊接在腔体(1)后端，其特征在于：

所述腔体(1)内部设有载物台(2)，且载物台(2)底端四侧均固定连接有支杆(201)，所述支杆(201)末端均嵌入设置于腔体(1)内侧，且载物台(2)外壁四侧均开有开口(202)，所述载物台(2)顶面且位于开口(202)正上方均开有活动槽(203)，且开口(202)内部均设置有螺杆(4)，所述螺杆(4)中心均穿插有转芯(401)，且活动槽(203)内部均滑动连接有卡板(3)，所述卡板(3)外侧均固定有与其为一体的齿条(301)；

所述撑板(5)前端开有滑道(501)，且撑板(5)前端滑动连接有连接板(6)，所述连接板(6)后端固定有与其为一体的滑块(601)，且滑块(601)位于滑道(501)内部并与滑道(501)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体，其特征在于：所述腔体(1)外壁四侧均开有连接口(101)，并开口(202)和连接口(101)交替分布，且载物台(2)通过支杆(201)与腔体(1)连接。

3.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体，其特征在于：所述开口(202)与活动槽(203)之间相互贯通，且卡板(3)均呈“L”形状，所述螺杆(4)通过转芯(401)与开口(202)转动连接，且螺杆(4)后端凸出并延伸至活动槽(203)内。

4.根据权利要求3所述的一种低温探针台的工件容载腔体，其特征在于：所述齿条(301)与螺杆(4)相互卡接，且卡板(3)在活动槽(203)内部上下移动。

5.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体，其特征在于：所述卡板(3)之间呈环形排布。

6.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体，其特征在于：所述滑道(501)内部和滑块(601)后端均开有对应口(502)，且滑道(501)内的对应口(502)数量为若干个并呈垂直排布。