[发明专利]一种低温探针台的工件容载腔体

说明书

本发明提供了一种低温探针台的工件容载腔体，涉及低温探针台技术领域，支杆末端均嵌入设置于腔体内侧，且载物台外壁四侧均开有开口，对工件的四侧进行稳固，工件不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况，并且不妨碍正常的检测工作，撑板前端开有滑道，且撑板前端滑动连接有连接板，连接板后端固定有与其为一体的滑块，且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接，通过连接板支撑显微镜的上下移动，便于检测人员使用显微镜对工件进行观察，解决了工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。

技术领域

本发明涉及低温探针台技术领域，尤其是涉及一种低温探针台的工件容载腔体。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，而低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台，现有的低温探针台的工件容载腔体结构单一，工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像，针对现有技术存在的问题，提供了一种低温探针台的工件容载腔体。

本发明要解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体和撑板，所述撑板焊接在腔体后端；

所述腔体内部设有载物台，且载物台底端四侧均固定连接有支杆，所述支杆末端均嵌入设置于腔体内侧，且载物台外壁四侧均开有开口，所述载物台顶面且位于开口正上方均开有活动槽，且开口内部均设置有螺杆，所述螺杆中心均穿插有转芯，且活动槽内部均滑动连接有卡板，所述卡板外侧均固定有与其为一体的齿条；

所述撑板前端开有滑道，且撑板前端滑动连接有连接板，所述连接板后端固定有与其为一体的滑块，且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接。

优选的，所述腔体外壁四侧均开有连接口，并开口和连接口交替分布，且载物台通过支杆与腔体连接。

优选的，所述开口与活动槽之间相互贯通，且卡板均呈“L”形状，所述螺杆通过转芯与开口转动连接，且螺杆后端凸出并延伸至活动槽内。

优选的，所述齿条与螺杆相互卡接，且卡板在活动槽内部上下移动。

优选的，所述卡板之间呈环形排布。

优选的，所述滑道内部和滑块后端均开有对应口，且滑道内的对应口数量为若干个并呈垂直排布。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

检测人员将工件拿起并放置到载物台上，工件放置好后，检测人员再分别划动螺杆，螺杆在转动的同时，卡板会随螺杆的转动而进行移动，可通过螺杆来调整卡板将载物台上的工件卡好，检测人员按照此方法将所有的卡板往下移动，四个卡板分别卡住工件的四侧，对工件进行稳固，工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况，并且不妨碍正常的检测工作。

检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板上，并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台，可使用显微镜对工件进行观察，将对应口内的螺栓拧下，滑块即可在滑道内进行滑动，让显微镜的镜头向下靠近工件，检测人员移动显微镜至合适的状态后，可再次将外部的螺栓拧入到相对应的两个对应口当中，固定好滑块当前的位置，通过连接板支撑显微镜的上下移动，便于检测人员使用显微镜对工件进行观察。

附图说明