[发明专利]一种实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法

权利要求书

1.一种实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将硅片进行清洗和制绒，并进行POCl₃扩散；

2)将所述硅片进行背面抛光、去除PN结，然后经过热氧化处理，沉积Al₂O₃薄膜，并在所述硅片的正面和背面沉积SiN_x:H减反射膜，形成第一样片；

3)在所述第一样片的背面进行激光开槽，形成第二样片；

4)采用丝网印刷为所述第二样片印刷背面铝浆、正面银电极和背面银电极，再经过高温烧结，最终经过烧结制成太阳能电池。

2.如权利要求1所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述步骤1)中，所述硅片包括单晶硅片和多晶硅片。

3.如权利要求1所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述步骤2)中，所述热氧化处理的温度为680℃，所述热氧化处理的时间为20min。

4.如权利要求1所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述步骤2)中，所述Al₂O₃薄膜的厚度为6nm，在所述硅片正面沉积的所述SiN_x:H减反射膜的厚度为80nm，在所述硅片背面沉积的所述SiN_x:H减反射膜的厚度为120nm。

5.如权利要求1所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述步骤3)中，所述激光开槽形成的开槽线为水平线段型，所述第二样片包括至少两条以上相互平行的所述开槽线。

6.如权利要求1所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述步骤3)中，所述激光开槽采用武汉帝尔激光切割机(型号DR-LA-Y40，DR Laser)完成。

7.如权利要求1所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述步骤3)中，所述激光开槽采用的激光波长为532nm，频率为17kHz，扫描速度为18000mm/s。

8.如权利要求5所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述开槽线包括开槽的实线段和未开槽的虚线段。

9.如权利要求8所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述第二样片上每条所述开槽线的长度相同，所述实线段的长度为367μm，所述虚线段的长度为700μm，所述开槽线的平行间距为600μm，所述开槽线的线宽为40μm。

10.如权利要求8所述的实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，其特征在于，所述开槽线的开槽比(所述实线段的长度与所述实线段、所述虚线段的长度之和的比值)为34.4％。