[发明专利]曲线图形光学邻近修正方法

权利要求书

1.一种曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，在对导入的原始设计图形进行光学邻近修正后，在进行设计规则检查前，对曲线图形边线进行直角切割处理以形成标准图形边线；所述直角切割处理包括采用多条相互连接的沿水平或垂直方向延伸的边线拟合所述曲线图形边线；所述直角切割处理的步骤包括：

采用水平边线、垂直边线和倾斜边线三种边线拟合所述曲线图形边线；

以所述倾斜边线作为矩形的对角线形成所述矩形，所述矩形的边线延伸方向与所述水平边线或所述垂直边线的延伸方向相同；

从所述矩形中选取相连接的水平边线和垂直边线作为矩形边线，所述水平边线和所述垂直边线在远离其连接端的另一端还分别连接于不同的所述水平边线、所述垂直边线或所述倾斜边线；

连接所述水平边线、所述垂直边线和所述矩形边线以形成所述标准图形边线。

2.根据权利要求1所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，所述倾斜边线的倾斜角度为45度，所述矩形为正方形。

3.根据权利要求1所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，从所述矩形中选取相连接的水平边线和垂直边线作为矩形边线的方法包括：设置面积判断阈值；当所述矩形与所述曲线图形的重叠部分的面积大于所述面积判断阈值时，以所述矩形中远离所述曲线图形的相连接的所述水平边线和所述垂直边线作为所述矩形边线；当所述矩形与所述曲线图形的重叠部分的面积小于所述面积判断阈值时，以所述矩形中靠近所述曲线图形的相连接的所述水平边线和所述垂直边线作为所述矩形边线。

4.根据权利要求3所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，所述面积判断阈值的范围介于所述矩形面积的20％至80％之间。

5.根据权利要求3所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，当所述矩形与所述曲线图形的重叠部分的面积等于所述面积判断阈值时，以所述矩形中远离所述曲线图形的相连接的所述水平边线和所述垂直边线作为所述矩形边线。

6.根据权利要求3所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，当所述矩形与所述曲线图形的重叠部分的面积等于所述面积判断阈值时，以所述矩形中靠近所述曲线图形的相连接的所述水平边线和所述垂直边线作为所述矩形边线。

7.根据权利要求1所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，所述倾斜边线具有多个倾斜角度。

8.根据权利要求1所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，在对所述曲线图形的边缘进行所述直角切割处理前，还包括设置亚分辨率辅助图形的步骤。

9.根据权利要求8所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，所述直角切割处理也包括对于所述亚分辨率辅助图形的处理。

10.根据权利要求1所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，在对所述曲线图形的边缘进行所述直角切割处理后，还包括进行设计规则检查、光学邻近修正验证以及导出最终设计图形的步骤。

11.根据权利要求10所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，在所述光学邻近修正验证后，当所述光学邻近修正验证的结果未符合预设目标时，则还包括在当前光学邻近修正结果的基础上再次进行所述光学邻近修正、所述直角切割处理、所述设计规则检查及所述光学邻近修正验证的返回迭代步骤，直至所述光学邻近修正验证的结果符合预设目标。

12.根据权利要求1所述的曲线图形光学邻近修正方法，其特征在于，所述曲线图形光学邻近修正方法用于硅光器件版图的光学邻近修正过程。