[发明专利]一种兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置

权利要求书

1.一种兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，包括：

阀板，所述阀板上设置有多个吸附模块，每个所述吸附模块包括多个阀芯腔，每个所述阀芯腔中皆设置有珠体；

上板，其位于阀板上侧，所述上板与阀板之间形成多个真空分腔，所述真空分腔与吸附模块一一对应设置，单个所述真空分腔与对应的吸附模块中的阀芯腔上端部连通；

下吸板，其位于阀板下侧，所述下吸板上竖直贯穿开设有多个吸附孔，所述吸附孔与阀芯腔一一对应设置；

当所述吸附孔的下侧贴设有金属箔时，所述阀芯腔中珠体下落且所述吸附孔通过阀芯腔与真空分腔连通；当所述吸附孔下侧与大气连通时，所述阀芯腔中珠体上升以阻塞阀芯腔的上端部。

2.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，多个所述吸附孔呈阵列排布。

3.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，多个所述真空分腔通过密封条分隔以形成独立的腔体。

4.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述真空分腔为2-6个。

5.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述阀芯腔包括锥形腔和柱形腔，所述锥形腔位于柱形腔的上侧，所述珠体的外径大于所述锥形腔，所述珠体的外径小于所述柱形腔，所述吸附孔的内径小于所述柱形腔的内径。

6.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述上板上开设有多个吹气孔，所述吹气孔与真空分腔连通以向真空分腔中吹气破真空。

7.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述下吸板上设置有光吸收镀层。

8.如权利要求7所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述光吸收镀层为黑色铁氟龙镀层。

9.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述下吸板的下表面设置有喷砂毛面。

10.如权利要求1所述的兼容多尺寸金属箔的真空吸附装置，其特征在于，所述上板的下表面开设有槽体，所述槽体与所述阀板配合形成真空分腔。