[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示面板在审

专利信息
申请号: 202010281387.8 申请日: 2020-04-10
公开(公告)号: CN111463248A 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 赵隋鑫;韩佰祥 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 何辉
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 阵列 及其 制作方法 显示 面板
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

衬底;

位于所述衬底上的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括源极、及漏极;

位于所述薄膜晶体管上的平坦层;

贯穿所述平坦层的通孔;

沉积在所述平坦层上和所述通孔内侧的阳极层,所述阳极层在所述通孔处与所述源极电连接;

沉积在所述通孔内和阳极层外侧的填充层;

位于所述阳极层上的像素定义层,所述像素定义层界定出包括所述填充层的开口部。

2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述填充层为纳米银材料。

3.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述填充层的上表面与所述阳极层水平。

4.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括沉积在所述开口部的发光功能层。

5.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括与所述源极电连接的源极层,且由所述源极层连接所述阳极层,所述平坦层覆盖所述薄膜晶体管与所述源极层。

6.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括:

位于所述衬底上的遮光层;

覆盖于所述衬底和所述遮光层上的缓冲层;

位于所述缓冲层上的有源层;

位于所述有源层上的栅极绝缘层;

位于所述栅极绝缘层上的栅极层;

覆盖于所述有源层、栅极绝缘层、栅极层、及缓冲层的中间层。

7.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:

提供衬底;

在所述衬底上形成薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括源极、及漏极;

在所述薄膜晶体管上形成平坦层;

形成贯穿所述平坦层的通孔;

在所述平坦层上和所述通孔内侧沉积阳极层,所述阳极层在所述通孔处与所述源极电连接;

在所述通孔内和阳极层外侧沉积填充层;

在所述阳极层上形成像素定义层,所述像素定义层界定出包括所述填充层的开口部。

8.如权利要求7所述阵列基板的制作方法,其特征在于,所述在所述通孔内和阳极层外侧沉积填充层,包括:

采用纳米银在所述阳极层外侧对所述通孔进行喷墨打印。

9.如权利要求7所述阵列基板的制作方法,其特征在于,所述阵列基板的制作方法还包括:

在所述开口部喷墨打印发光功能材料,以形成发光功能层。

10.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1至6任一项所述的阵列基板。

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