[发明专利]光学调制器及包括光学调制器的光束转向系统在审
申请号: | 202010283088.8 | 申请日: | 2020-04-10 |
公开(公告)号: | CN112542764A | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 金善日;朴晶铉;李斗铉;郑秉吉 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01S5/0232 | 分类号: | H01S5/0232;H01S5/02345;H01S5/02255;H01S5/026;G02F1/29 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴晓兵 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 调制器 包括 光束 转向 系统 | ||
提供了一种光学调制器,包括:多个单元体;有源层,包括彼此分离的多个折射率变化区域,所述多个折射率变化区域中的每个折射率变化区域具有基于向其施加的电信号而变化的折射率;多个天线图案,设置在所述有源层上方;以及镜层,与所述多个天线图案相对地设置在所述有源层下方。
相关申请的交叉引用
本申请要求分别于2019年9月23日和2019年10月14日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2019-0116871和No.10-2019-0127160的优先权,其公开内容通过引用整体并入本文中。
技术领域
本公开的示例实施例涉及一种光学调制器以及包括所述光学调制器的光束转向系统。
背景技术
为了使激光束转向到期望的位置,可以使激光发射部机械旋转,或者可以使用光学相控阵(OPA)方法来使用从多个单元体或多个波导输出的激光束的干涉。在OPA方法中,可以通过对单元体或波导进行电控制或热控制来使激光束转向。
发明内容
一个或多个示例实施例提供了一种光学调制器和包括所述光学调制器的光束转向系统。
附加方面将部分地在接下来的描述中进行阐述,并且将部分地通过该描述而变得清楚明白,或者可以通过实践本公开所呈现的实施例而获知。
根据示例实施例的一方面,提供了一种光学调制器,包括:多个单元体;有源层,包括彼此分离的多个折射率变化区域,所述多个折射率变化区域中的每个折射率变化区域具有基于向其施加的电信号而变化的折射率;多个天线图案,设置在有源层上方;以及镜层,与所述多个天线图案相对地设置在有源层下方。
所述多个折射率变化区域中的相邻折射率变化区域之间的距离在0.1μm至0.5μm的范围内。
所述多个折射率变化区域中的相邻折射率变化区域之间的距离可以等于或小于所述多个折射率变化区域中的每个折射率变化区域的尺寸。
所述多个折射率变化区域中的相邻折射率变化区域之间的距离可以小于所述多个折射率变化区域中的每个折射率变化区域的宽度。
所述多个折射率变化区域中的相邻折射率变化区域之间的距离可以小于所述多个折射率变化区域中的每个折射率变化区域的宽度的1/2。
所述多个折射率变化区域中的相邻折射率变化区域之间的距离可以等于或小于所述多个天线图案中的相邻天线图案之间的距离。
所述多个折射率变化区域可以被一维或二维地设置。
所述多个折射率变化区域可以彼此电隔离。
所述多个折射率变化区域可以彼此电连接。
所述多个折射率变化区域可以包括氧化物半导体。
氧化物半导体可以包括铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)、镓铟锌氧化物(GIZO)、铝锌氧化物(AZO)、镓锌氧化物(GZO)和氧化锌(ZnO)中的至少一种。
绝缘材料可以设置在所述多个折射率变化区域的各个折射率变化区域之间。
镜层可以包括与所述多个单元体相对应的金属镜。
镜层可以包括彼此分离并分别对应于所述多个单元体的多个金属镜。
镜层可以包括银(Ag)、金(Au)、铝(Al)和铂(Pt)中的至少一种。
光学调制器还可以包括绝缘层,所述绝缘层设置在有源层与所述多个天线图案之间或者有源层与镜层之间,或者设置在有源层与所述多个天线图案之间以及有源层与镜层之间。
绝缘层可以包括具有等于或大于1MΩ的电阻的材料。
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