[发明专利]静态隔振系统及其控制方法

权利要求书

1.一种静态隔振系统，包括多个隔离件，借助所述隔离件支撑隔振地安置的负载机构，其中，所述隔振系统包括多个执行器，借助所述执行器主动地抑制振动，

其特征在于，所述隔离件分别包括各自的控制单元，所述控制单元具有数模转换器以驱动所述执行器。

2.根据权利要求1所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔离件的控制单元与中央的控制单元相连，通过所述中央的控制单元将控制信号传递到所述隔离件的控制单元。

3.根据权利要求1所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔离件的控制单元不依赖于所述中央的控制单元来驱动所述执行器。

4.根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔离件的控制单元通过总线系统彼此相连和/或与所述中央的控制单元和/或与中央配置和/或诊断单元相连。

5.根据前一项权利要求所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔离件的控制单元与所述总线系统串联地连接。

6.根据前两项权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述总线系统构造为支持实时以太网的总线系统，尤其是根据IEC 61158-1:2014标准。

7.根据前两项权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔离件的控制单元分别包括模数转换器，借助所述模数转换器处理传感器信号。

8.根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述执行器和/或传感器集成在所述隔离件中。

9.根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，通过所述执行器在至少两个、优选至少三个自由度中产生补偿力，其特征尤其在于，通过所述执行器在三个平移自由度和/或三个旋转自由度中产生补偿力。

10.根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔振系统包括隔振地安置的机器，所述隔振地安置的机器是用于处理、尤其是加工或测量半导体器件和/或纳米结构元件和/或实验室设备、医疗设备、尤其是磁共振断层造影仪。

11.根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔振系统构造成，使得所述隔离件的数目不受中央的控制单元的限制。

12.根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统，其特征在于，所述隔离件分别包括气动弹簧，其中通过所述隔离件的控制单元主动地驱动所述气动弹簧。

13.一种隔离件，所述隔离件构造用于根据前述权利要求中任一项所述的静态隔振系统。

14.一种控制主动式静态隔振系统、尤其是根据权利要求1所述的静态隔振系统的方法，其中通过多个隔离件支撑隔振地安置的负载机构，并且通过多个执行器主动地抑制振动，

其特征在于，通过所述隔离件各自的控制单元来驱动所述执行器。

15.根据前一项权利要求所述的方法，其特征在于，通过所述隔离件基于传感器信号不依赖于外部控制信号地提供主动隔振。