[发明专利]静态隔振系统及其控制方法

说明书

本发明涉及一种静态隔振系统，其包括多个隔离件，借助这些隔离件支撑隔振地安置的负载机构。该隔振系统包括多个执行器，借助这些执行器主动地抑制振动。隔离件分别包括各自的控制单元，该控制单元具有数模转换器以驱动执行器。

技术领域

本发明涉及一种静态隔振系统及其控制方法和一种用于静态隔振系统的隔离件。

本发明尤其涉及一种静态隔振系统，在其上布置有用于处理半导体器件和/或纳米结构元件的、尤其是晶片、掩模或显示基板的机器，或用于测量半导体器件和/或纳米结构元件的机器，例如电子束显微镜。

此外，在静态隔振系统上还可以布置有实验室设备和/或医疗设备，例如成像检查设备，如磁共振断层造影仪(MRT)。

背景技术

静态隔振系统尤其是在半导体工业中用于安置加工机器，例如光刻设备和测量装置，例如电子束显微镜，从而隔振地安置用于处理半导体器件的敏感设备。

这样的隔振系统一般由板件组成，该板件被隔振地安置在至少三个隔离件上，这些隔离件分别包括弹簧。

用于处理半导体器件的设备布置在板件上，并因此保护这些设备免受振动。板件和布置于其上的设备共同形成该隔振地安置的负载机构。

实践中已知的尤其是主动式隔振系统，在主动式隔振系统中隔离件除弹簧之外还包括执行器、尤其是磁力执行器，利用这些执行器主动地抑制振动。

通过传感器检测振动，这些传感器既能布置在隔离件的基座上，又能布置在隔振地安置的负载机构上。基于传感器信号来驱动执行器，从而通过产生反作用力来补偿振动。

借助这样的主动控制既能抑制自外延到系统中的振动，又能抑制隔振地安置的负载机构本身产生的振动(例如，通过可移动舞台或自行式机器人)。

专利文献EP 2 295 829 B1(集成动力学工程)揭示了一种隔振系统，在该隔振系统中存在用于在多个自由度中产生补偿力的执行器。

这类隔振系统包括用于处理传感器信号的控制单元(通常又称控制器)，该控制单元检测传感器信号并基于该传感器信号生成控制信号，借助该控制信号驱动执行器，从而产生补偿力。

由此，控制单元构造为中央计算单元，隔振系统的全部隔离件的传感器和执行器皆联接至该中央计算单元。

一方面，这会增加布线消耗。尤其是通常必须将线路从控制单元铺设到传感器，这些线路上流过强电流，通过这样才能驱动产生反作用力的执行器。

此外，可联接的隔离件的最大数目取决于控制单元的构型。

每个控制单元均针对所接的隔离件的最大数目来设置，这意味着，在不更换控制单元的情况下，无法为隔振系统无限加装隔振器。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是减少现有技术中的上述缺点。

特定而言，本发明提供一种隔振系统，在该隔振系统中减少了布线消耗和/或该隔振系统关于隔离件的数目能够灵活地缩放。

本发明用以达成上述目的的解决方案为根据独立权利要求之一所述的静态隔振系统、用于静态隔振系统的隔离件以及用于控制主动式静态隔振系统的方法。

本发明的优选实施方式和改进方案可以参阅从属权利要求的主题、说明书和附图。

本发明涉及一种静态隔振系统。

该静态隔振系统包括用于处理半导体器件和/或纳米结构元件的、尤其是隔振地安置的机器。在此，该机器可以例如是光刻设备、光学晶片检查设备、测量装置，例如电子束显微镜等。在隔振系统上还可以隔振地安置有实验室设备、医疗设备、尤其是成像医疗设备(例如磁共振断层造影仪)。