[发明专利]一种靶材平面度检测工具及其加工方法

权利要求书

1.一种靶材平面度检测工具，其特征在于，所述检测工具的平面度小于0.03mm；所述检测工具的平行度小于0.03mm；

所述检测工具包括不锈钢板材及棒材；

所述不锈钢板材至少包括2个；

所述棒材至少包括4个；

所述不锈钢板材通过不锈钢板材的宽面进行连接；

所述棒材设置于连接后的不锈钢板材相邻的宽面之间。

2.如权利要求1所述的检测工具，其特征在于，所述棒材和不锈钢板材的夹角为44-46°；

优选地，所述棒材的长度为200-400mm。

3.如权利要求1或2所述的靶材平面度检测工具的加工方法，其特征在于，所述方法包括：选取刚材依次进行切割、焊接及磨削，得到所述平面度检测工具；所述检测工具的平面度小于0.03mm；所述检测工具的平行度小于0.03mm。

4.如权利要求2所述的加工方法，其特征在于，所述刚材包括304不锈钢材料。

5.如权利要求3或4所述的加工方法，其特征在于，所述刚材包括不锈钢棒材及不锈钢板材；

优选地，所述不锈钢棒材的直径为12-18mm；

优选地，所述不锈钢板材的宽度为20-50mm；

优选地，所述不锈钢板材的厚度为4-8mm。

6.如权利要求5所述的加工方法，其特征在于，所述不锈钢棒材切割后的长度为200-400mm；

优选地，所述不锈钢棒材切割后两端头的角度为44-46°。

7.如权利要求5或6所述的加工方法，其特征在于，所述不锈钢棒材切割后的个数至少为4个。

8.如权利要求5或6所述的加工方法，其特征在于，所述不锈钢板材切割后包括长度为400-600mm的不锈钢板材及长度为200-300mm的不锈钢板材；

优选地，所述长度为400-600mm的不锈钢板材的个数至少包括1个；

优选地，所述长度为200-300mm的不锈钢板材的个数至少包括2个。

9.如权利要求5-8任一项所述的加工方法，其特征在于，所述焊接为先对不锈钢板材进行焊接之后对不锈钢棒材进行固定焊接；

优选地，焊接所述不锈钢板材的方法为将长度为200-300mm的不锈钢板材的端面焊接于长度为400-600mm不锈钢板材的宽面中心线处；

优选地，所述焊接的方式为氩弧焊；

优选地，所述焊接的电流为90-100A。

10.如权利要求3-9任一项所述的加工方法，其特征在于，所述方法包括：选取刚材依次进行切割、焊接及磨削，得到所述平面度检测工具；

其中，所述刚材包括304不锈钢材料；所述刚材包括不锈钢棒材及不锈钢板材；所述不锈钢板材的宽度为20-50mm；所述不锈钢板材的厚度为4-8mm；所述不锈钢棒材的直径为12-18mm；所述不锈钢棒材切割后的长度为200-400mm；所述不锈钢棒材切割后两端头的角度为44-46°；所述不锈钢棒材切割后的个数至少为4个；所述不锈钢板材切割后包括长度为400-600mm的不锈钢板材及长度为200-300mm的不锈钢板材；所述长度为400-600mm的不锈钢板材的个数至少包括1个；所述长度为200-300mm的不锈钢板材的个数至少包括2个；所述焊接为先对不锈钢板材进行焊接之后对不锈钢棒材进行固定焊接；焊接所述不锈钢板材的方法为将长度为200-300mm的不锈钢板材的端面焊接于长度为400-600mm不锈钢板材的宽面中心线处；所述焊接的方式为氩弧焊；所述焊接的电流为90-100A。