[发明专利]一种靶材平面度检测工具及其加工方法

说明书

本发明涉及一种靶材平面度检测工具及其加工方法，所述方法包括：选取刚材依次进行切割、焊接及磨削，得到所述平面度检测工具；所述检测工具的平面度小于0.03mm；所述检测工具的平行度小于0.03mm。本发明所制备得到的检测工具，检测效率高，使用方便，可以随时随地进行检测，效率大幅提升。

技术领域

本发明涉及加工领域，具体涉及一种靶材平面度检测工具及其加工方法。

背景技术

目前，溅射靶材制造过程加工中，焊接完成后的产品需要控制产品的平面度，所需一种快捷方便的检测平面度的量具来进行实现。

三坐标来检测产品的平面度，每一枚产品每一道工序用三坐标检测这样产品周转是极大的浪费时间，效率低。如CN203190956U公开了一种三坐标移动定位工作台，所述移动台面底部一端设置有两个对称的油缸，移动台面底部另一端设置有两个对称的驱动减速电机，油缸和驱动减速电机设置在轨道上，轨道两侧设置有基准块，油缸上设置有油管接头，油缸通过连接垫块与起伏导轨连接，驱动减速电机与齿轮箱连接，齿轮箱内设置有行走轮，行走轮设置在轨道上，其结构简单，操作简单、可以起浮降落、定位准、精度高、平面度偏差＜0.05mm，很好的解决了之前移动台的平面度偏差大等诸多问题，其完全达到了精密产品模具检测标准。CN205449009U公开了一种三坐标自动化检测装置，包括三坐标平台，所述三坐标平台的上表面通过螺栓安装有垫块，垫块的侧面安装有平口钳，该平口钳的右侧放置有侧面比正块，并且平口钳的正面放置有前面比正块，所述平口钳包括基座，该基座上安装有活动块，活动块上设有紧固螺栓，并且基座的上表面开设有与紧固螺栓相适配的定位槽。其通过将平口钳通过垫块固定在三坐标平台上，实现了不同产品的相同原点，相同的装夹工具，降低劳动强度，减少辅助工具的占用空间，同一规格的相同产品采用同一固定放置方案，检测时无需手动建立坐标系，利用机床自身坐标实现三坐标对零件的自动化检测功能，降低检测产品辅助时间，提高检验效率。

溅射靶材制造过程加工中，焊接成品后产品进行三坐标来检测产品的平面度，制造过程中所涉及的工序过多，每一枚产品每一道工序用三坐标检测是很难实现的。

发明内容

鉴于现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种靶材平面度检测工具及其加工方法，检测效率高，使用方便，可以随时随地进行检测，效率大幅提升。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种靶材平面度检测工具，所述检测工具的平面度小于0.03mm；所述检测工具的平行度小于0.03mm；

所述检测工具包括不锈钢板材及棒材；

所述不锈钢板材至少包括2个；

所述棒材至少包括4个；

所述不锈钢板材通过不锈钢板材的宽面进行连接；

所述棒材设置于连接后的不锈钢板材相邻的宽面之间。

本发明提供的检测工具，检测效率高，使用方便，可以随时随地进行检测，效率大幅提升。

作为本发明优选的技术方案，所述棒材和不锈钢板材的夹角为44-46°，例如可以是44°、44.1°、44.2°、44.3°、44.4°、44.5°、44.6°、44.7°、44.8°、44.9°、45°、45.1°、45.2°、45.3°、45.4°、45.5°、45.6°、45.7°、45.8°、45.9°或46°等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述棒材的长度为200-400mm，例如可以是200mm、210mm、220mm、230mm、240mm、250mm、260mm、270mm、280mm、290mm或300mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。