[发明专利]一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用

权利要求书

1.一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮，其特征在于由以下重量百分比的原料制成：金刚石磨料15-45%、预合金粉15-60%、聚四氟乙烯20-45%、氧化铈3-15%、润湿剂0.5-6%；

所述预合金粉由40-60%铜粉、18-35%锡粉和10-25%金属A几种金属制成，其中金属A由铋或银中的至少一种和镓组成；

所述预合金粉的处理方法为：将铜粉、锡粉过200#筛五遍，加入金属A，然后将混合物放入行星式球磨机球磨机械混合和细化处理10-20h，即得混合粉；将混合粉热处理，热处理工艺为：以20℃/min的升温速度升至260-350℃保温2h，然后以5℃/min升至380-450℃保温5-20h，然后以10℃/min降温至25℃，即得预合金粉。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮，其特征在于：所述金刚石磨料的粒度为400#-2000#。

3.根据权利要求1 所述的碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮，其特征在于：所述金属A中镓的含量质量分数为50%。

4.权利要求1-3任一项所述的碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮的制备方法，其特征在于步骤如下：

（1）将热处理后的预合金粉和氧化铈放入行星式混料机中球混2h，过筛得到粘接剂；

（2）将金刚石磨料放入研钵中，加入润湿剂，研磨20min，然后将研磨好的金刚石倒入步骤（1）的粘接剂中混合过筛；

（3）向步骤（2）过筛后混合物中加入聚四氟乙烯树脂粉，过筛得到砂轮成型料；

（4）将步骤（3）砂轮成型料倒入带有基体的成型模具中，热压机预压后，将预压后的模具至于330℃的烘箱中保温2h，取出模具，于热压机上压制，压制结束后模具冷却至室温，卸模，即得砂轮半成品，将砂轮半成品精加工得到复合结合剂砂轮。

5.根据权利要求4所述的碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中过200目标准筛3遍得到粘接剂；步骤（2）中采用100目筛网筛5遍；步骤（3）中过80目标准筛3遍。

6.根据权利要求4所述的碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中润湿剂为丙三醇或石蜡中的一种或者二者以1:1的组合。

7.根据权利要求4所述的碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）中预压温度为260-330℃，预压压力为50KN，时间为10-20min；压制压力为150-300KN，时间为0.5-2h。

8.权利要求1-3任一项所述的复合结合剂砂轮在碳化硅晶体减薄中的应用。