[发明专利]一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法

说明书

本发明提供了一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法，所述生产设备包括：多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室、至少一套传输装置和至少一套控制装置；所述运输装置用于运输基材依次通过各个镀膜工艺腔室；控制装置用于按照预设控制程序控制所述传输装置在各个镀膜工艺腔室之间移动，以及按照制程控制所述多个镀膜工艺腔室对传输至其腔室内的基材进行镀膜。本实施例通过将各个镀膜工艺腔室设计为直线型结构连接，用于固态超薄锂电池、变色调光玻璃等产品的一次性真空成型，以及用于各个镀膜工艺腔室的模块化增/减/调换顺序的设计，因此本发明所提供的生产设备及其生产方法可取得较佳的功能薄膜产品一致性、重复性和稳定性。

技术领域

本发明涉及全固态锂电池、变色玻璃、真空镀膜技术领域，尤其涉及一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法。

背景技术

连续镀膜系统广泛应用于液晶显示器、触控屏、建筑幕墙玻璃等生产，其主要特色是采用大面积平板玻璃镀膜，实现流水线连续生产，薄膜均匀性、成分一致性较好。

近年来的一类新款电池产品——全固态薄膜锂电池，拥有高能量密度、长循环寿命、高安全性等特点，成为下一代锂离子电池的重要替代方案之一，应用于智能卡片、芯片、柔性可穿戴设备、医疗健康设备。

另一类新款产品——电致变色玻璃，具有通过调节电压，实现玻璃透过率在可见光和红外光范围内的连续可调(1％-65％)，人性化地实现玻璃变色的功能，也解决了建筑幕墙玻璃高耗能问题，是下一代建筑幕墙玻璃。

全固态薄膜锂电池和电致变色玻璃，在制造工艺过程中，早期采用半导体行业集群式(cluster)镀膜方案：静态镀膜方式，即镀膜工艺腔室围绕基材传递、真空机器人环形排布，基材通过机器人依次送入不同真空腔室，进入镀膜腔室后基材保持原位静止状态(可自转旋转)，镀膜采用磁控溅射、化学气相沉积、蒸发等方式，在基材上沉积规划的薄膜，完成镀膜步骤后，机器人把基材传递到下一个腔室进行不同材料镀膜。这类集群式的结构工作效率低，仅供研发使用，无法实现连续型、大规模量产型生产，限制行业发展。

因此，现有技术有待于进一步的改进。

发明内容

鉴于上述现有技术中的不足之处，本发明的目的在于为用户提供一类连续型真空镀膜生产设备及其生产方法，克服现有制造工艺中使用环形集群式结构导致工作效率低、无法实现连续性和大规模生产的缺陷。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

第一方面，本实施例提供了一种连续型真空镀膜生产设备，其中，包括：

多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室；各个镀膜工艺腔室均真空设置，且各个镀膜工艺腔室均用于采用镀膜工艺对运输至腔室内的基材进行加热和/或镀膜；

至少一个传输装置，用于运输基材依次通过各个镀膜工艺腔室；

至少一个与传输装置电连接的控制装置，用于按照预设运输控制进程控制所述传输装置在各个镀膜工艺腔室之间移动，以及按照生产控制进程控制对传输至各个镀膜工艺腔室内的基材进行镀膜。

可选的，所述多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室包括第一沉积薄膜腔室、热处理腔室、第二沉积薄膜腔室和第三沉积薄膜腔室；

所述第一沉积薄膜腔室，用于在基材表面沉积作为电池正极的薄膜层；

所述热处理腔室，用于按照预设温度值对输入至其腔室内的基材进行热处理；

所述第二沉积薄膜腔室；用于在基材上沉积作为电池电解质的薄膜层；

所述第三沉积薄膜腔室，用于在基材上沉积作为电池负极集流体的薄膜层。

可选的，所述第二沉积薄膜腔室和第三沉积薄膜腔室之间还设置有第四沉积薄膜腔室；