[发明专利]一种高精度芯片塑封设备及其使用方法在审
申请号: | 202010290546.0 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN111430274A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 吴东京 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314000 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 芯片 塑封 设备 及其 使用方法 | ||
1.一种高精度芯片塑封设备,包括工作台(1),所述工作台(1)的上方安装有进给输送带(2),所述工作台(1)上放置有塑封模具(4),所述工作台(1)的上方设有塑封设备(5),所述塑封设备(5)的底部安装有多个塑封头(6),所述塑封头(6)的输入端连接有计量泵,塑封设备(5)通过该计量泵和塑封头(6)将塑封原料定量的注入塑封模具(4)中,所述工作台(1)上固定安装有导轨(10),所述进给输送带(2)的输送末端安装有机械手(8)和下料箱(9),用于取出塑封后的芯片,其特征在于:所述进给输送带(2)的轮带上分布有多组位移插杆(3),所述塑封模具(4)包括塑封上模(401)和塑封下模(402),所述塑封上模(401)上开凿有多个位移插孔(403),且位移插孔(403)与位移插杆(3)吻合,所述塑封上模(401)上开凿有夹持孔(404),用于夹持芯片的引脚,所述塑封下模(402)放置在导轨(10)上。
2.根据权利要求1所述的一种高精度芯片塑封设备,其特征在于:所述塑封上模(401)上开凿有抽注孔(405),用于对塑封模具(4)进行抽真空处理,和向塑封模具(4)内注入塑封原料。
3.根据权利要求1所述的一种高精度芯片塑封设备,其特征在于:所述进给输送带(2)的下轮带上方安装有多个张紧辊(7),避免进给输送带(2)驱动塑封模具(4)移动时,位移插杆(3)脱离位移插孔(403)。
4.根据权利要求1所述的一种高精度芯片塑封设备,其特征在于:所述塑封上模(401)的上方设有压板(408),所述压板(408)与塑封上模(401)之间连接有压簧(406),所述夹持孔(404)与压板(408)之间连接有夹持塞(407),所述夹持塞(407)为圆台橡胶塞,所述夹持塞(407)内部开凿有内径递减的通孔,通过夹持塞(407)内的通孔夹持芯片的引脚,且通过压板(408)挤压夹持塞(407)造成夹持塞(407)变形,以此来放开芯片的引脚。
5.根据权利要求2所述的一种高精度芯片塑封设备,其特征在于:所述抽注孔(405)内安装有复位挡板(409),该复位挡板(409)的截面为圆形,所述复位挡板(409)的上表面与塑封头(6)的底面一致,所述塑封头(6)底部的侧面开凿有通孔,用于注入塑封原料,所述塑封头(6)的结构与抽真空设备的抽气头结构一致。
6.根据权利要求1-5所述的一种高精度芯片塑封设备,其特征在于:一种高精度芯片塑封设备的使用方法如下:
S1、芯片排布:将待封装的芯片的引脚排布在塑封上模(401)的夹持孔(404)内,再将塑封上模(401)与塑封下模(402)进行合模,使得待封装的芯片悬空固定在塑封上模(401)和塑封下模(402)之间的型腔内;
S2、前期处理:对合模后的塑封模具(4)进行抽真空处理,以预防塑封时出现气泡,再将抽真空后的塑封模具(4)放置在工作台(1)上,且塑封模具(4)的塑封下模(402)卡在导轨(10)上,塑封上模(401)的位移插孔(403)位于位移插杆(3)的前进方向上,便于位移插杆(3)随着进给输送带(2)的运动插入位移插孔(403);
S3、塑封处理:塑封设备(5)的塑封头(6)下降,且塑封头(6)插入塑封上模(401)的抽注孔(405)处,计量泵通过塑封头(6)向塑封模具(4)的型腔内注入塑封原料,进行塑封作业;
S4、芯片取出:由进给输送带(2)将塑封模具(4)转运至工作台(1)的的末端,由机械手(8)将塑封上模(401)取下,并转运至下料箱(9)的上方,再放松夹持孔(404)处的夹持塞(407),使得塑封后的芯片落入下料箱(9)中,便于进一步的加工。
7.根据权利要求6所述的一种高精度芯片塑封设备的使用方法,其特征在于:所述步骤S1中,芯片引脚由夹持孔(404)处的夹持塞(407)进行固定,有效的避免外界空气由芯片引脚处进入塑封模具(4)的型腔内。
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